為什么最頂尖的光刻機(jī)是來自荷蘭,,而不是美國,?
20世紀(jì)60-70年代,,光刻機(jī)的早期發(fā)展階段,,美國是走在世界前面的。那時的光刻機(jī)原理很簡單,,就是把光通過帶電路圖的掩膜投影到涂有光敏膠的晶圓上,,那時的晶圓也只有1英寸大小。
80年代左右,,由于美國的扶持,,一些裝配產(chǎn)業(yè)向日本轉(zhuǎn)移,日本也抓住了機(jī)遇,,在半導(dǎo)體領(lǐng)域趁勢崛起,。90年代,日本的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)成為了全球第一,,出口額超過美國,。
1984年,荷蘭光刻機(jī)廠商ASML成立,,此時的阿斯麥只是飛利浦和一家小公司ASM International以50:50的比例組成的合資公司,,最初員工只有31人。在成立初期,,ASML沒錢沒客戶,,甚至只能在簡易木板房工作,。
1997年,英特爾和美國能源部牽頭組建EUV LLC前沿技術(shù)組織,,集成了通訊巨頭摩托羅拉,、IBM、芯片巨頭AMD,,以及能源部下屬三大國家實(shí)驗(yàn)室:勞倫斯-利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室,、桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室和勞倫斯伯克利實(shí)驗(yàn)室。
此時的美國政府將EUV技術(shù)視為推動本國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù),,并不太希望外國企業(yè)參與其中,,但是此時美國本土光刻機(jī)企業(yè)已是“扶不起的阿斗”。
最后,,ASML同意在美國建立一所工廠和一個研發(fā)中心,,以滿足所有美國本土的產(chǎn)能需求,保證55%的零部件均從美國供應(yīng)商處采購,,并接受定期審查,,才被納入美國EUV LLC聯(lián)盟。
這也就是為什么說“ASML一半是歐洲的,,一半是美國的,。”ASML被允許加入EUV LLC之后便順風(fēng)順?biāo)伙w沖天,,而尼康和佳能卻被排除在外,,從而失去了未來的門票。
|