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標(biāo)題: 真空泄露,？真空腔體 [打印本頁]

作者: 小袁好累 時(shí)間: 2024-7-1 09:01
標(biāo)題: 真空泄露,？真空腔體
請(qǐng)教大家一個(gè)真空不保壓的問題,？腔室16L,，真空腔體在出廠檢驗(yàn)過漏氣率6.2*10-2次方pa.L/s
腔體主要材質(zhì)是304不銹鋼,，腔體的門板是鋁合金,，內(nèi)表面電解拋光過,。
現(xiàn)在情況是,，空抽,，介質(zhì)是空氣,，關(guān)閉擋板閥后，理論來說是保壓狀態(tài),，
但結(jié)果是關(guān)閉擋板閥就開始升壓,，從10pa緩慢升壓，至10小時(shí)后升壓到150pa
后面再次腔體撿漏卻沒有發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn),，對(duì)了,，總共抽真空20幾次，都是用常規(guī)空氣破真空的

作者: gunianyisheng 時(shí)間: 2024-7-16 13:28
有沒有可能真空內(nèi)部虛漏

作者: gunianyisheng 時(shí)間: 2024-7-16 13:29
常規(guī)空氣吸附在內(nèi)壁,，造成虛漏,，或者其他部件放氣

作者: ericshen12 時(shí)間: 2024-7-19 19:39

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-7-16 13:29
常規(guī)空氣吸附在內(nèi)壁，造成虛漏,，或者其他部件放氣

你好啊,，這方面資料是在什么書籍上有介紹啊。

作者: 駱馬湖鐵匠 時(shí)間: 2024-7-20 08:01
腔室做的不是很好,，普通的正常做出來的背景值可以達(dá)到5E-9Pa.m³/s

作者: 游離縉云 時(shí)間: 2024-7-22 16:26
內(nèi)壁有沒有拋光,，焊接是內(nèi)焊嗎，有沒有死角儲(chǔ)存有空氣,？

作者: 小火鷹 時(shí)間: 2024-9-5 10:10
烘烤過嗎

作者: 小袁好累 時(shí)間: 2024-11-19 15:00

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-7-16 13:28
有沒有可能真空內(nèi)部虛漏

有點(diǎn)懷疑是燕尾槽O型圈哪里沒有開個(gè)連通的槽,，讓燕尾槽與腔體內(nèi)部連接，抽真空的時(shí)候順便把燕尾槽夾層的空氣也抽走,，這樣減少內(nèi)部虛漏的可能

作者: 小袁好累 時(shí)間: 2024-11-19 15:02

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-7-16 13:29
常規(guī)空氣吸附在內(nèi)壁,，造成虛漏，或者其他部件放氣

里面沒有其他零件,，空抽,，密封件采用的低放氣率的氟橡膠，之前有150度烘烤1小時(shí)脫氣過

作者: 小袁好累 時(shí)間: 2024-11-19 15:05

駱馬湖鐵匠發(fā)表于 2024-7-20 08:01
腔室做的不是很好,，普通的正常做出來的背景值可以達(dá)到5E-9Pa.m³/s

我也覺得供應(yīng)商做的不行,，感覺電解拋光做的不好,，你這個(gè)漏率要求我在磁控濺射上看到過，我這個(gè)閃蒸要求不是很高,，之前要求E-4pa L/S,，供應(yīng)商都達(dá)不到

作者: 小袁好累 時(shí)間: 2024-11-19 15:06

游離縉云發(fā)表于 2024-7-22 16:26
內(nèi)壁有沒有拋光，焊接是內(nèi)焊嗎,，有沒有死角儲(chǔ)存有空氣,？

長方體結(jié)構(gòu)的腔室，內(nèi)表面鋁合金材質(zhì)和304不銹鋼都電解拋光過,，鋁合金電解之前還做了陽極氧化,，不清楚這兩個(gè)表處會(huì)不會(huì)反應(yīng)，出現(xiàn)問題

作者: 小袁好累 時(shí)間: 2024-11-19 15:07

小火鷹發(fā)表于 2024-9-5 10:10
烘烤過嗎

150度烘烤1小時(shí)過

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