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李志堅(jiān)
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M E M S 一詞由M i c r o E l e c t r o M
e c h a n i c a l S y s t e m 的4 個(gè)字首組成,，
可譯為微電子機(jī)械系統(tǒng)。M E M S 的起源可以追溯到6
0 年代,，1 9 8 9 年后M E M S 一詞就漸漸成為一個(gè)世
界性的學(xué)術(shù)用語,，M E M S 技術(shù)的研究開發(fā)也日益成為
國(guó)際上的一個(gè)熱點(diǎn)。與M E M S 一詞同時(shí)流行的還有M
i c r o M a c h i n e （微機(jī)械）和M i c r o
S y s t e m （微系統(tǒng)）,。它們都以微�,。∕ i c r o
）為特征，有的強(qiáng)調(diào)機(jī)械,，有的強(qiáng)調(diào)系統(tǒng),，但當(dāng)前人們
常不加區(qū)別地與M E M S 通用。
7 i6 `+ |8 H" p" w 一般地說,，M E M S 具有以下非約束性的特征：
$ _/ u9 k. f- S
�,。�1 ）尺寸在毫米到微米范圍之內(nèi)，區(qū)別于一般宏
（M a c r o ）,，即傳統(tǒng)的,、大于1 厘米尺度的“機(jī)械
”，但并非進(jìn)入物理上的微觀層次,；
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�,。�2 ）基于（但不限于）硅微加工（M i c r o f
a b r i c a t i o n ）技術(shù)制造；
3 |; o9 m4 {- {4 n+ l. B$ K �,。�3 ）與微電子芯片類同,，可大批量、低成本生產(chǎn)
,，性能價(jià)格比傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅提高,；
# E4 T2 A, { r9 v! n5 N （4 ）M E M S 中的“機(jī)械”不限于狹義的機(jī)械力
學(xué)中的機(jī)械,，它代表一切具有能量轉(zhuǎn)化,、傳輸?shù)裙δ艿?BR>效應(yīng)，包括力,、熱,、聲、光,、磁,，乃至化學(xué)、生物能等
,；
* L7 c9 j, R. p- h2 b5 X/ X$ e- C �,。�5 ）M E M S 的目標(biāo)是微“機(jī)械”與I C 集成的
微系統(tǒng)———有智能的微系統(tǒng),。
- ?' `3 V+ v& [2 U/ y) ^ 用以上特征衡量，用微電子技術(shù)（但不限于此）制
造的微小機(jī)構(gòu),、器件,、部件和系統(tǒng)等都屬于M E M S 范
圍，微機(jī)械和微系統(tǒng)只是M E M S 發(fā)展的不同層次,，有
關(guān)的科學(xué)技術(shù)都可統(tǒng)稱為M E M S 技術(shù),。
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當(dāng)前，信息技術(shù)已走上多媒體,、網(wǎng)絡(luò)化和智能化的
道路,，微電子信息處理已向系統(tǒng)級(jí)芯片集成發(fā)展。無論
從微型化或性能價(jià)格比發(fā)展看,，信息獲�,。▊鞲校┘夹g(shù)
和信息執(zhí)行技術(shù)，即所謂“外部設(shè)備”技術(shù)都已成為發(fā)
展的瓶頸,；它們與“主機(jī)”的接口（H I ）也成為阻礙
處理速度的關(guān)鍵,。M E M S 技術(shù)的目標(biāo)是把信息獲取、
處理和執(zhí)行一體化地集成在一起,，使之成為真正的系統(tǒng)
,，因此該技術(shù)對(duì)信息技術(shù)的革命意義是不言而喻的。對(duì)
傳統(tǒng)的“機(jī)械學(xué)”來說,，M E M S 技術(shù)不僅打開了“微
尺寸”新領(lǐng)域的大門,，也是真正實(shí)現(xiàn)機(jī)電一體化的開始
。M E M S 被認(rèn)為是微電子技術(shù)的又一次革命,，對(duì)2 1
世紀(jì)的科學(xué)技術(shù),、生產(chǎn)方式和人類生活質(zhì)量都會(huì)有深遠(yuǎn)
的影響,。
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�,。ㄔd《科技導(dǎo)報(bào)》9 ／1 9 9 7 ，本文是一篇論
文的引言部分）
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《人民日?qǐng)?bào)》（1 9 9 7 1 1 2 6 十版） |