標(biāo)題: 微米級(jí)精度的測(cè)量,,有哪些方法 [打印本頁(yè)] 作者: 忍愛(ài)天下 時(shí)間: 2015-3-22 10:42 標(biāo)題: 微米級(jí)精度的測(cè)量,,有哪些方法 最近在測(cè)一些數(shù)據(jù),要求精度至少在1um以內(nèi),,現(xiàn)在自己了解到的關(guān)于一些測(cè)量的工具如游標(biāo)卡尺,、深度尺,、高度尺、百分表、塞尺也就在0.01mm的精度,,內(nèi)徑,、外徑千分尺可以達(dá)到0.001mm但是在一些場(chǎng)合用他們來(lái)測(cè)量的話礙于結(jié)構(gòu)形式不能實(shí)現(xiàn),而千分表的話則對(duì)于多次測(cè)量需要找一個(gè)基準(zhǔn)做參考,,且主要用來(lái)測(cè)跳動(dòng)的居多�,,F(xiàn)在機(jī)床上精度用的比較高的測(cè)量裝置就是光柵尺,然而它不能像卡尺這樣用著隨心應(yīng)手,,再者一些比較高端的測(cè)量工具如激光干涉儀等一些光學(xué)測(cè)量元件其價(jià)格昂貴,。 " Q& O. [% l6 Q* K8 V& E( |% f. i1 s u
各位在實(shí)際測(cè)量一些微米級(jí)或者精度更高的尺寸時(shí),用的是什么測(cè)量工具,?: F w Y$ i% [5 k1 N