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標(biāo)題: 可在液氫溫度環(huán)境使用的壓力傳感器 [打印本頁(yè)]

作者: 寂靜天花板 時(shí)間: 2015-12-7 18:54
標(biāo)題: 可在液氫溫度環(huán)境使用的壓力傳感器
當(dāng)前,，壓力傳感器應(yīng)用非常廣泛,，但超低溫壓力傳感器一般只在軍事和科研上使用,。尤其是在軍事上，對(duì)壓力傳感器的要求非�,？量�,。目前軍用低溫壓力傳感器普遍可以在-200℃環(huán)境下穩(wěn)定工作，性能上需拓展,。
據(jù)資料,，該低溫型脈動(dòng)壓力傳感器屬于電阻應(yīng)變式壓力傳感器。傳感器采用離子束濺射薄膜技術(shù),，在金屬膜片上直接生成電介質(zhì)隔離膜和功能材料電阻膜（薄膜應(yīng)變電阻）,，在電阻膜上制作應(yīng)變電阻，組成惠斯通電橋,。當(dāng)被測(cè)介質(zhì)的壓力發(fā)生變化時(shí),，應(yīng)變電阻阻值也隨之變化，從而使傳感器輸出電壓值發(fā)生變化,。傳感器金屬膜片上還制備了一個(gè)測(cè)溫電阻,，通過(guò)測(cè)溫電阻，當(dāng)傳感器的工作環(huán)境溫度發(fā)生變化時(shí),，測(cè)溫電阻阻值也隨之變化,，并提供給變換器，通過(guò)變換器獲取工作環(huán)境溫度,。低溫型脈動(dòng)壓力傳感器系統(tǒng)具有使用測(cè)量低溫區(qū)寬的特點(diǎn),，傳感器使用溫度范圍為-253℃~ 60℃(液氫溫度)；測(cè)量范圍：(0～60)）MPa,。

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