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機械社區(qū)
標題:
石墨烯試制氣體傳感器，可檢測出7ppb的NO2
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作者:
寂靜天花板
時間:
2016-12-7 18:45
標題:
石墨烯試制氣體傳感器,，可檢測出7ppb的NO2
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氣體傳感器的結(jié)構(gòu)概要（圖像：IEDM）
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富士通開發(fā)出了采用石墨烯的半導體氣體傳感器。將在半導體元件及工藝技術(shù)相關(guān)國際會議“IEDM 2016”（12月3〜7日,、舊金山）上就其詳細情況發(fā)表演講（演講序號：18.2）,。該傳感器的特點是靈敏度較高，選擇性較大,。
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試制的氣體傳感器將普通的MOSFET柵極電極換了成了石墨烯,。這樣一來,，NH3和NO2吸附到石墨烯上時，MOSFET的漏極電流就會出現(xiàn)變化,。檢測到NO2時,，MOSFET的漏極電流會減少，檢測到NH3時,，MOSFET的漏極電流會增加,。
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通過檢測這種漏極電流的變化，在室溫下,，可檢測到7ppb（1ppb為十億分之一）的NO2和420ppb的NH3,。不過，該傳感器對SO2,、H2S和乙醛基本無反應(yīng),。傳感器的靈敏度可以調(diào)節(jié)。
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