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機(jī)械社區(qū)

標(biāo)題: 超精密加工 [打印本頁(yè)]
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 09:43
標(biāo)題: 超精密加工
本帖最后由 camvinh 于 2017-10-10 09:44 編輯
9 G, E2 Y6 k1 U- S, N9 |2 D
0 Z. s1 m: t) s, u1 j4 Q$ _; y, |我們研究室做超精密加工研究,，機(jī)床加工精度達(dá)到1μm以下,，表面粗糙度5-10nm，一刀就出鏡面。有興趣的朋友,，可以交流交流,。
# B9 z& t2 v1 S% L( m- F) n: X
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; T) K7 }& K, _) T: V
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' ]/ b5 |5 f. G5 D$ w4 K
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8 j$ T/ C. `, a! K
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9 F/ j$ T+ `0 n2 p  N! z2 `
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8 ], q$ W* [$ \7 `; x! A2 S# s" R3 n- ^
8 {; f9 y0 u3 @. u

0 u0 b+ p: W/ L1 b
作者: qq707459754    時(shí)間: 2017-10-10 09:53
清華,？ 牛掰
作者: [email protected]    時(shí)間: 2017-10-10 10:01
用的什么刀具,？
" v1 B9 Y. f; b粗糙度和精度可以代替磨削嗎？; d6 N- @1 ~# u1 r# Q- V2 F
最長(zhǎng)試驗(yàn)工件是多少,？
' V# |: W' i5 `4 B! L( G
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 10:02
[email protected] 發(fā)表于 2017-10-10 10:015 J, X3 r/ ^' o
用的什么刀具,？' g# J- Y( s( c8 |, `- D
粗糙度和精度可以代替磨削嗎？2 j9 w- [/ ?5 r  B" j
最長(zhǎng)試驗(yàn)工件是多少,？

7 d. D  _" V8 S) J用天然金剛石刀具,，粗糙度能達(dá)到5-10nm，精度<1μm' n0 |- M9 I1 `" o. I8 R# F
作者: 喀秋莎88    時(shí)間: 2017-10-10 10:04
大理石床身,，看起來(lái)高端啊,。
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 10:04
[email protected] 發(fā)表于 2017-10-10 10:01
0 I4 i9 e+ e$ [$ @' E用的什么刀具？0 ^9 Z6 I* }" B/ M/ ~$ t1 V- C
粗糙度和精度可以代替磨削嗎,？* @, h6 f& d6 P0 ]
最長(zhǎng)試驗(yàn)工件是多少,？

& c) l# u* t" I$ V最長(zhǎng)150mm
作者: 喀秋莎88    時(shí)間: 2017-10-10 10:08
千島2000轉(zhuǎn)手動(dòng)卡盤？
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 10:12
喀秋莎88 發(fā)表于 2017-10-10 10:08
, J5 E( ?# j  O# O7 O千島2000轉(zhuǎn)手動(dòng)卡盤,？
  F5 ^: _% n8 q. r9 x
是的
作者: ﹏ˋ仰望    時(shí)間: 2017-10-10 10:14
看著很牛啊
作者: dengxiangxi    時(shí)間: 2017-10-10 10:15
超精密切削加工, `$ W' i/ L4 x, a$ m( Q
主要有超精密車削,、鏡面磨削和研磨等。在超精密車床上用經(jīng)過精細(xì)研磨的單晶金剛石車刀進(jìn)行微量車削,切削厚度僅1微米左右,，常用于加工有色金屬材料的球面,、非球面和平面的反射鏡等高精度,、表面高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡,，最高精度可達(dá)0.1微米,，表面粗糙度為Rz0.05微米。: o. I" {4 b4 X0 R
超精密特種加工
$ c6 k0 h: J7 U: R加工精度以納米,，甚至最終以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標(biāo)時(shí),，切削加工方法已不能適應(yīng)，需要借助特種加工的方法,，即應(yīng)用化學(xué)能,、電化學(xué)能、熱能或電能等,，使這些能量超越原子間的結(jié)合能,，從而去除工件表面的部分原子間的附著、結(jié)合或晶格變形,，以達(dá)到超精密加工的目的,。屬于這類加工的有機(jī)械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入,、電子束曝射,、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等,。這些方法的特點(diǎn)是對(duì)表面層物質(zhì)去除或添加的量可以作極細(xì)微的控制,。但是要獲得超精密的加工精度,，仍有賴于精密的加工設(shè)備和精確的控制系統(tǒng),，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對(duì)掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進(jìn)行曝射,，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解),，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜,。電子束曝射制版需要采用工作臺(tái)定位精度高達(dá)±0.01微米的超精密加工設(shè)備,。
作者: 所羅門_x    時(shí)間: 2017-10-10 10:16
不錯(cuò) ，在國(guó)內(nèi)屬于高端機(jī)床設(shè)備了,。這類機(jī)床一直是國(guó)內(nèi)技術(shù)瓶頸,，記得10年前公司用的坐標(biāo)磨床，曲線磨床,，慢絲都是進(jìn)口的,，國(guó)內(nèi)做的精度差的老遠(yuǎn)，這技術(shù)代溝起碼20年,，現(xiàn)在10年過去了還是沒聽說(shuō)國(guó)內(nèi)能做這么精密的設(shè)備的�,，F(xiàn)在的機(jī)器人腳步跟的倒是挺緊的,，看看效果也是醉了，編寫設(shè)定好的套路走流程都敢稱為智能,！還登上大雅之堂了,！這勇氣真是佩服!還號(hào)稱已經(jīng)達(dá)到國(guó)際一流水準(zhǔn)！其實(shí)就是人家的初級(jí)階段,。
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 10:22
所羅門_x 發(fā)表于 2017-10-10 10:162 l; `/ ]& u3 v* U% s
不錯(cuò) ,，在國(guó)內(nèi)屬于高端機(jī)床設(shè)備了。這類機(jī)床一直是國(guó)內(nèi)技術(shù)瓶頸,，記得10年前公司用的坐標(biāo)磨床,，曲線磨床， ...
& T% b8 Z0 C3 _4 s# T
機(jī)床的光柵,、伺服,、數(shù)控、部分電器是國(guó)外,，其余都是國(guó)內(nèi),，機(jī)床也是自己搭的  Q5 }' m4 U) B/ O7 o
作者: 鑫森淼炎垚    時(shí)間: 2017-10-10 10:49
能實(shí)現(xiàn)嗎？
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 10:51
鑫森淼炎垚 發(fā)表于 2017-10-10 10:49
; N# H6 `& i9 C# ~能實(shí)現(xiàn)嗎,？

+ G- l5 F, I7 x0 A7 `; o$ w實(shí)現(xiàn)什么,？4 t1 l6 J) V; V' h8 y1 ], @
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 10:53
所羅門_x 發(fā)表于 2017-10-10 10:16
, p6 @7 l( C2 e7 K6 q$ x不錯(cuò) ，在國(guó)內(nèi)屬于高端機(jī)床設(shè)備了,。這類機(jī)床一直是國(guó)內(nèi)技術(shù)瓶頸,，記得10年前公司用的坐標(biāo)磨床，曲線磨床,， ...
0 X6 ]0 ~' T4 w' ~# B
機(jī)身是國(guó)內(nèi)的
% V( T8 {" K6 c$ Y2 R- g8 o4 f
作者: 喀秋莎88    時(shí)間: 2017-10-10 11:10
camvinh 發(fā)表于 2017-10-10 10:53
% x. J) U* }) @2 v! n: L機(jī)身是國(guó)內(nèi)的

$ I, C# Q( n% s; r; I: l" p床身是青島的么; R0 {1 k" p! m, ]9 J
作者: 鑫森淼炎垚    時(shí)間: 2017-10-10 11:15
能實(shí)現(xiàn)“一刀就出鏡面”嗎,？如何解決溫度、震動(dòng),、刀損等的影響,。
作者: 趙君度    時(shí)間: 2017-10-10 11:32
羨慕
作者: 郭向東    時(shí)間: 2017-10-10 11:36
高大上
作者: tzhero    時(shí)間: 2017-10-10 11:47
高大上羨慕
作者: LYY635432086    時(shí)間: 2017-10-10 11:52
代表中國(guó)加工行業(yè)最高技術(shù)
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 12:52
喀秋莎88 發(fā)表于 2017-10-10 11:10$ M3 x  k+ W9 W( u( f7 o" Z
床身是青島的么
. C1 ]6 t4 n+ G( }1 _2 E
機(jī)身是自己做的: v5 G9 n) b2 s5 [  R% p1 H5 \: H( E
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 12:54
鑫森淼炎垚 發(fā)表于 2017-10-10 11:15
  b, b/ J# U) _7 n3 f  `能實(shí)現(xiàn)“一刀就出鏡面”嗎？如何解決溫度,、震動(dòng),、刀損等的影響。

+ ]3 g7 F: c- B/ N是的,，一刀出鏡面,，這機(jī)床用氣浮和大理石所以隔震效果很好，金剛石刀具切銅,、鋁不磨損  i# ]3 W8 [- b. t" d
作者: 月光狼人    時(shí)間: 2017-10-10 14:52
膜拜   
) r2 v7 j. C- l) z& o; g/ S' {: M- e" U
作者: 宋仲龍    時(shí)間: 2017-10-10 15:22
應(yīng)該是專用機(jī)床,，車削拋物面反射鏡。這是你們的試驗(yàn)還是要做產(chǎn)品,？
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-10 15:26
宋仲龍 發(fā)表于 2017-10-10 15:22
+ Y9 Q5 c" U9 e5 k應(yīng)該是專用機(jī)床,，車削拋物面反射鏡,。這是你們的試驗(yàn)還是要做產(chǎn)品？

4 F) p1 X2 x& E用來(lái)做實(shí)驗(yàn),，也用來(lái)接活
5 U, Z) G2 B5 G: E2 c. ]& L
作者: 湘湖旁邊    時(shí)間: 2017-10-10 15:26
長(zhǎng)見識(shí)了
作者: 宋仲龍    時(shí)間: 2017-10-10 16:01
camvinh 發(fā)表于 2017-10-10 15:26; t0 `, P- h: t% U6 |9 K& y
用來(lái)做實(shí)驗(yàn),，也用來(lái)接活
0 E4 v* k4 e% `( j
鋁基的直徑和反射焦距各半寸，得花費(fèi)多少銀兩,。你們用學(xué)校的公帑搞私活,，有想法。  Z+ J& q- \* o# A
作者: 獨(dú)自莫憑欄    時(shí)間: 2017-10-10 16:48
LZ的工作和清華大學(xué)IC裝備精密機(jī)械與測(cè)控技術(shù)研究中心的光刻機(jī)在技術(shù)上有什么相似之處么,？
作者: xiaobing86203    時(shí)間: 2017-10-10 17:49
做做試驗(yàn)不算什么,，批量生產(chǎn)才是真得牛
作者: 喂我袋鹽    時(shí)間: 2017-10-10 21:14
xiaobing86203 發(fā)表于 2017-10-10 17:49  L- f# G* l; J/ I8 R' o. a" h
做做試驗(yàn)不算什么，批量生產(chǎn)才是真得牛
& `+ T) ~5 \) a3 W: m" J& h
精辟,！換下的刀,，給個(gè)低價(jià)，打包長(zhǎng)年收購(gòu),，哈哈,！5 X* m0 g$ b/ D
作者: 喂我袋鹽    時(shí)間: 2017-10-10 21:16
camvinh 發(fā)表于 2017-10-10 10:02& Z8 m  e* c1 `& u7 Y9 g; {
用天然金剛石刀具，粗糙度能達(dá)到5-10nm,，精度
* @6 H2 w! \+ \$ K9 r/ V" S
牛牛,！
2 C! P6 p' ~0 A" n: g+ N
/ X# J+ b6 b/ R5 y. \PCD，PVD試過能達(dá)到什么水平,？
4 N- k+ o0 g5 a
0 N7 A, m/ \4 {4 s
作者: 無(wú)應(yīng)力夾具    時(shí)間: 2017-10-11 10:21
配合我們的無(wú)應(yīng)力固定就更牛了: V3 t+ A8 O  B) z
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-11 11:25
喂我袋鹽 發(fā)表于 2017-10-10 21:169 ]7 c+ E# S- \' w8 b& ?% P$ O4 d
牛牛,！9 _& K" j" `0 e. k- u0 w9 o
7 |  `+ l- ]" Z  t7 J+ h
PCD，PVD試過能達(dá)到什么水平,？

: L! X; ^" e) N- h% f8 P不行,，PCD刃磨半徑不行
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-11 11:26
宋仲龍 發(fā)表于 2017-10-10 16:01
& a- U6 q! ~& f/ |鋁基的直徑和反射焦距各半寸，得花費(fèi)多少銀兩,。你們用學(xué)校的公帑搞私活,，有想法,。
# v( D. L8 X" s3 m$ }
不是私活,，收的費(fèi)用全部用在科研里( L* }$ Z3 s8 k8 `+ o
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-11 11:27
獨(dú)自莫憑欄 發(fā)表于 2017-10-10 16:48
7 a0 \/ G3 e6 d5 K5 BLZ的工作和清華大學(xué)IC裝備精密機(jī)械與測(cè)控技術(shù)研究中心的光刻機(jī)在技術(shù)上有什么相似之處么？

7 u* u. j  y! x- F0 y; ~" m不了解
. q/ d- |: x# ]2 H8 e$ m
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-11 11:27
無(wú)應(yīng)力夾具 發(fā)表于 2017-10-11 10:21
3 d7 M6 p- W) \+ c! g* g6 g配合我們的無(wú)應(yīng)力固定就更牛了

8 K' h. e! f1 I% I上圖看看
. |9 p, z: y) n) j6 K+ G$ K
作者: 無(wú)應(yīng)力夾具    時(shí)間: 2017-10-11 12:35
camvinh 發(fā)表于 2017-10-11 11:27! L- E' o& @. B" E5 z1 c% z) P9 g
上圖看看

4 q: |' P4 @* k* @" v' E' s8 p7 D[attach]435304[/attach]
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-11 12:50
無(wú)應(yīng)力夾具 發(fā)表于 2017-10-11 12:35

; b/ n+ C. L6 H5 Q+ a是什么牌子�,�,？- F' |* t0 K1 S. j/ I
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-11 14:22
無(wú)應(yīng)力夾具 發(fā)表于 2017-10-11 12:35
; _! [+ b$ i2 y! ?- g. W. b
是叫冰凍盤嗎？剛載網(wǎng)上了解,，這技術(shù)挺厲害的,，這個(gè)要多少錢？
作者: 孟梓666    時(shí)間: 2017-10-11 15:46
長(zhǎng)見識(shí)了,！
作者: 藍(lán)色格    時(shí)間: 2017-10-13 14:19
厲害了
作者: 山吹    時(shí)間: 2017-10-14 10:27
牛7 y" e) ]) R/ q& m2 h6 I+ u% k; D
什么材料,？
作者: 愛吃板栗的小云    時(shí)間: 2017-10-17 14:06
現(xiàn)在的大理石床身和礦物鑄造吸震性能很好
作者: ywjianghu    時(shí)間: 2017-10-21 15:52
無(wú)應(yīng)力夾具 發(fā)表于 2017-10-11 10:21
  c: Q' Z6 q8 \配合我們的無(wú)應(yīng)力固定就更牛了

5 I  ^, G$ i6 Y; c 介紹一下你的夾具呢,。技術(shù)含量高的軟廣告，在機(jī)械社區(qū)不但不扣分,，相反有加分呢,。
* s7 G& q+ y* ~; L- @3 E
+ P: a8 [0 n4 o7 D- H
作者: ywjianghu    時(shí)間: 2017-10-21 15:57
樓主能否介紹一下運(yùn)動(dòng)模組呢？# x- k% P( U. c6 P
譬如,，靜壓還是氣浮,，滑塊什么形式，導(dǎo)軌什么形式,，絲杠還是直線電機(jī),。等等。. M( l/ W- x0 [3 i, ]( j
謝謝,！
作者: zzzz0000    時(shí)間: 2017-10-21 17:01
吹氣干切削加工嗎,，能提供加工參數(shù)參考一下嗎
作者: 拖拉機(jī)ww    時(shí)間: 2017-10-22 10:48
水在凝固時(shí)，體積不是會(huì)膨脹嗎,？
作者: 藍(lán)天心    時(shí)間: 2017-10-22 11:52
你這個(gè)機(jī)床,，如果車個(gè)球，面輪廓度能到多少,？/ j1 ~7 T3 z% ?7 U/ W) u+ }1 k3 M: t
作者: 無(wú)應(yīng)力夾具    時(shí)間: 2017-10-22 19:22
拖拉機(jī)ww 發(fā)表于 2017-10-22 10:48$ E. j! x4 \7 n' {0 H
水在凝固時(shí),，體積不是會(huì)膨脹嗎？

8 ]" w$ j, Y+ ]4 p[attach]436331[/attach]/ F$ b+ q$ J, [# n2 a
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-23 09:47
ywjianghu 發(fā)表于 2017-10-21 15:573 C) @3 ~# Q& u: f' ~- V
樓主能否介紹一下運(yùn)動(dòng)模組呢,？
+ O9 K4 B0 o* _譬如,，靜壓還是氣浮，滑塊什么形式,，導(dǎo)軌什么形式,，絲杠還是直線電機(jī)。等等 ...

6 l7 m. U) @1 g( A, Q$ W氣浮導(dǎo)軌,，直線電機(jī)
% t& @6 a" y4 @& c
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-10-23 09:52
藍(lán)天心 發(fā)表于 2017-10-22 11:520 i7 W  \4 q; [0 O8 S- X
你這個(gè)機(jī)床,，如果車個(gè)球，面輪廓度能到多少,？

) b9 U& b, L$ R我們這機(jī)床有B旋轉(zhuǎn)軸,，可以用旋轉(zhuǎn)軸直接加工圓球不用插補(bǔ)。我們B軸對(duì)刀的精度也很高,，尺寸誤差小于1μm,，你可以看我們發(fā)表的《超精密數(shù)控機(jī)床B旋轉(zhuǎn)軸的可量化對(duì)刀方法》& l, v2 n" |$ d* P
作者: 科技的瘋狂    時(shí)間: 2017-11-2 15:16
看著好神奇
作者: 羊咪咪    時(shí)間: 2017-11-6 15:23
牛，學(xué)習(xí),。& c% T5 }2 X) o. ^. ~
作者: Garfield-Zhang    時(shí)間: 2017-11-8 17:46
你好,！請(qǐng)問你們可以在金屬表面加工小于1mm的通道嗎？我們急需這樣的加工,。
% n% |6 u7 B3 v0 q( ~% n6 b
作者: 小劉jg    時(shí)間: 2017-11-8 22:00
樓主,，你好你這主軸是你們自己制作的嗎,，我們公司常年加工青銅軸套（月產(chǎn)量40萬(wàn)只），特別需要這樣的機(jī)床,。! D" f/ K+ ~& x+ r3 o
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-11-9 11:37
Garfield-Zhang 發(fā)表于 2017-11-8 17:46
, g4 V/ W! O' A3 }# J你好,！請(qǐng)問你們可以在金屬表面加工小于1mm的通道嗎？我們急需這樣的加工,。

: h  O& ~3 d7 n, p; _4 f你好,！可以的，我們有微細(xì)電火花加工機(jī)床,，可以加工,，加我微信 yjr824
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-11-9 11:38
小劉jg 發(fā)表于 2017-11-8 22:00( i" r5 b1 C4 G8 S4 b
樓主，你好你這主軸是你們自己制作的嗎,，我們公司常年加工青銅軸套（月產(chǎn)量40萬(wàn)只）,，特別需要這樣的機(jī)床。 ...
2 x6 g9 e4 W2 d8 m" I
是的,，我們和外企一起合作做的,，加我微信詳談 yjr824: n/ N, y1 X7 t+ ^" X, T1 D
作者: 明天，_wlt25    時(shí)間: 2017-11-13 10:48
不便宜吶,，高精尖
作者: wx_dnnbAEnQ    時(shí)間: 2017-11-29 13:02
牛叉
作者: yangyang178    時(shí)間: 2017-11-29 13:37
只能在實(shí)驗(yàn)室看看了,，常規(guī)行業(yè)不敢用
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-11-29 14:10
yangyang178 發(fā)表于 2017-11-29 13:373 X7 @% g# v/ L
只能在實(shí)驗(yàn)室看看了，常規(guī)行業(yè)不敢用

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作者: fangyd    時(shí)間: 2017-12-5 13:27
本帖最后由 fangyd 于 2017-12-5 13:34 編輯 * O- T' M: ?: t( `; d; U
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怎么聯(lián)系你�,�,？
作者: 宋小科95    時(shí)間: 2017-12-5 14:24
作者: camvinh    時(shí)間: 2017-12-5 14:44
fangyd 發(fā)表于 2017-12-5 13:273 m8 N4 z) q7 T
怎么聯(lián)系你啊,？
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加我的微信 yjr8245 j  _1 n$ L# H% [# j$ Y5 e" R
作者: zidaneyc    時(shí)間: 2017-12-5 15:45
學(xué)習(xí)
作者: 海普超精張燕    時(shí)間: 2019-3-27 14:56
我們公司-北京海普瑞森超精密技術(shù)有限公司,，自主研制的超精密單點(diǎn)金剛石車床就能滿足這種使用，而且批量化產(chǎn)品,，非實(shí)驗(yàn)室階段哦,，歡迎朋友們來(lái)電咨詢。我的電話是18910106210,。
) ~; W  d. a$ r6 {" L我們單點(diǎn)車加工的元件表面粗糙度可達(dá)納米級(jí),，口徑最大可達(dá)到350mm，可加工各種高精度平面,、球面,、非球面及離軸元件和自由曲面元件,�,？杉庸ゃ~、鋁,、單晶鍺,、硒化鋅,、樹脂、PMMA等材料,。在三軸聯(lián)動(dòng)模式下還可加工離軸元件,、柱面、子午面等非回轉(zhuǎn)對(duì)稱元件和自由曲面,，配以特殊刀具可以實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)元件的加工,，如各種衍射元件和菲涅爾透鏡等。
作者: 王光軍    時(shí)間: 2019-3-27 17:25
真牛,，非常佩服
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