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標題: 淺析環(huán)境因素對激光干涉儀測量精度的影響（上） [打印本頁]
作者: 中圖儀器1 時間: 2017-12-29 15:35
標題: 淺析環(huán)境因素對激光干涉儀測量精度的影響（上）
關(guān)于環(huán)境因素影響激光干涉儀測量精度的環(huán)境因素主要指：
1,、 當(dāng)前測量環(huán)境下的空氣溫度,、濕度、大氣壓力,，影響在空氣中傳播的激光波長,。
2,、 被測工件溫度，影響被測對象的熱膨脹量,。本文不做分析,，將在下篇細述。
關(guān)于激光干涉儀[attach]442742[/attach]
SJ6000激光干涉儀
激光干涉儀有單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀，二者都是采用外差干涉原理,，而區(qū)別在于計算公式，如下所示：
單頻激光干涉儀,，線性測量的計算公式：L＝Nλ／2,，其中L為位移，N為干涉條紋數(shù)目,，λ為激光波長,。
雙頻激光干涉儀，線性測量的計算公式：
[attach]442743[/attach]
其中L為位移,，t為時間,，△f為由于運動而引起的頻移，λ為激光波長,。
激光波長影響分析結(jié)合激光干涉儀兩個線性測量的公式同時進行分析：
1,、 單頻激光干涉儀，若移動半個激光波長,，光電探測器將采集到明暗變化1次,，干涉條紋數(shù)目則N＋1，該項幾乎不會引入誤差,。而雙頻激光干涉儀,，△f在時間上積分的結(jié)果相當(dāng)于N，同樣也幾乎不會引入誤差,。
2,、 兩個公式都含有激光波長λ，而λ的精度直接取決于波長的穩(wěn)定度,，通常要高于線性測量精度指標一個量級,，即≤0.05ppm。所以在標準空氣參數(shù)的環(huán)境條件下,，理論上L的線性測量精度也應(yīng)該為0.05ppm,，然而通過Edlen公式可以獲知激光波長λ會受到環(huán)境因素的影響，參見表1,，所以實際應(yīng)用中L的線性測量精度標為0.5ppm不無道理,。
[attach]442744[/attach]
激光波長穩(wěn)定度和環(huán)境因素對波長的影響
綜上，對環(huán)境因素進行綜合考量,，最壞的情況下將會給線性測量精度引入0.48ppm的誤差,。
所以，暫且可以得出下面的結(jié)論：
1,、 激光干涉儀線性測量精度主要取決于激光波長穩(wěn)定度和環(huán)境因素,；
2、 單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀在線性測量精度上并無本質(zhì)區(qū)別；
3,、 若不考慮被測對象因素的影響,，激光干涉儀在線性測量過程中，誤差主要來源是由環(huán)境因素導(dǎo)致的,。
EC20環(huán)境補償單元激光干涉儀配備的EC20環(huán)境補償單元,，由環(huán)境補償主機（內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成,，可實現(xiàn)對空氣溫度,、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測,。
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EC20環(huán)境補償單元
EC20環(huán)境補償單元在出廠前,，會依照相關(guān)計量標準對各環(huán)境參量進行精確校準，通常情況下建議24個月校準一次,。
在使用EC20環(huán)境補償單元過程中,，在不影響測量光路和被測物體運動的前提下，建議將環(huán)境補償主機和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置,。至于材料溫度探頭該如何布置或應(yīng)用,，則需分不同的測量場合與不同的被測對象，小編將會作為激光干涉儀的測量關(guān)鍵點進行細述,，欲知詳情,，且聽下回分解 。
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作者: 韓寒11 時間: 2017-12-29 21:20
我們用的雷尼紹的激光干涉儀,，沒見過車間檢測激光干涉儀精度的
作者: 中圖儀器1 時間: 2018-1-2 16:25
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這個是送到計量院（所）去檢的，一般地方計量院可能都無法檢,，需要送到大的計量院甚至中國計量院去檢定,，你們車間是沒有這個資質(zhì)和能力的。
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作者: JXTTTTT 時間: 2018-7-9 12:58
我又來賺威望啦�,。,。�
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