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基于光纖的低相干輪廓儀(與類(lèi)似顯微鏡的輪廓儀不同),適合在QA實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)環(huán)境中獲取形貌信息(圖1),。他們以微米級(jí)精度,,以1-30 kHz的高速度和更快的速度獲取較長(zhǎng)剖形面的表面數(shù)據(jù)。他們的非接觸式探頭(圖2),探針的工作距離從30-150 mm,,可放置在距離輪廓儀機(jī)箱很遠(yuǎn)的地方進(jìn)行檢測(cè),。在生產(chǎn)線上,它們可以安裝在滑軌上,,以便沿網(wǎng)絡(luò)生產(chǎn)線上進(jìn)行掃描,。探頭小巧堅(jiān)固,可承受惡劣環(huán)境,,如輻射,,高溫或極寒。
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1 i" N3 F; r) a/ r3 }低相干干涉儀是一種光學(xué)裝置,,它將紅外范圍1300nm的寬帶光源分成兩個(gè)獨(dú)立的光束,。一個(gè)光束指向物體表面,另一個(gè)光束指向干涉儀中參照物的一面鏡子,。探頭接收并重新組合來(lái)自樣品和參照物的反射光,,并記錄所產(chǎn)生的干涉,從中可以檢索到有關(guān)物體的各種信息:其表面形狀,,粗糙度和波紋,,以及單層或多層涂層厚度。 | ; ?5 R& b# |4 ~( G
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