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樓主: 一路向北ck
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求助大佬,,氣浮平臺的設計

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11#
發(fā)表于 2022-5-25 15:16:18 | 只看該作者
研發(fā)三坐標,,有共通之處,。
12#
發(fā)表于 2022-5-25 16:38:55 | 只看該作者
一路向北ck 發(fā)表于 2022-5-25 09:18
之前我設計一臺設備,,用的是NewWay的標準空氣軸承塊(多孔材料),,這種空氣軸承塊需要用膠粘結,,對裝配要求 ...

單獨從圖片上無法準確判斷采用何種氣浮軸承。如果單純重復定位精度0.1~0.3um,,兩種軸承其實都可以實現(xiàn),,加工和裝配工藝是一方面,樓上說的溫度補償也是非常重要的一點,,還有測量環(huán)境,,材料選擇,,光柵尺的選擇,控制算法,,需要多方面考慮,。QQ:564384682
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