超精密機(jī)械設(shè)備設(shè)計與開發(fā)

養(yǎng)豬東籬下

文不對題

帕肉賽斯

怒砍一分

skyll

0 W, \  }7 [/ X怒刷一分

喂我袋鹽

lz來點干貨,，怎樣的超精密

寒寒thunder

怒刷一貼,？,？？

xfxywzy

目前的精密單方向平臺,，已經(jīng)可以做到納米等級的進(jìn)給（1nm,，100mm行程）,�,？赡苤挥泻苌俚男袠I(yè)會用到，價格也比較昂貴（10W RMB）,。其中納米等級的控制目前的難點在于驅(qū)動器,，必須使用超高分辨率的驅(qū)動控制模塊來控制。
$ d* W+ n% {6 e( G現(xiàn)在有一個樣品正在研究,，品牌PI,，可以去他們的官網(wǎng)看看，有余等級限制發(fā)不了鏈接,，可以直接搜Physik Instrument. 有很多超精密控制的模組,。
- k  ]8 e7 [) B7 `

xfxywzy

發(fā)不了圖片，具體的結(jié)構(gòu)初步來看是需要2-3級調(diào)節(jié),。
第一等級是X-Y的粗調(diào)節(jié),，精度在±2um之內(nèi)就行，第二等級調(diào)節(jié)就是PZT壓電陶瓷調(diào)節(jié),，精度可以做到進(jìn)給0.1nm,行程15um.
0 E  d6 a" B& g1 D+ }+ z
7 @1 z4 b9 O3 B' `7 g2 w, d系統(tǒng)的空氣主軸的性能也需要密切關(guān)注,，因為碟片測試不僅僅有精度跳動要求（跳動越小越好 50nm以內(nèi)），對軸也有速度控制要求（0.005%）,。目前合適的供應(yīng)商也在尋找中,。

喂我袋鹽

xfxywzy 發(fā)表于 2023-3-9 10:36
( @/ C" c/ P3 u發(fā)不了圖片,，具體的結(jié)構(gòu)初步來看是需要2-3級調(diào)節(jié)。
: t% s5 k7 i* i; e0 t1 r第一等級是X-Y的粗調(diào)節(jié),，精度在±2um之內(nèi)就行,，第二等 ...

不知所云

328Feng_328

愿聞其詳！

長涯

喂我袋鹽 發(fā)表于 2023-7-13 11:01
1 u: v. _3 C/ {- s( p' I' D不知所云

應(yīng)該是先用第一級運(yùn)動單位,，比較快速并且較準(zhǔn)確的移動到制定目標(biāo)點附近,，然后第二級超精密運(yùn)動單位精確控制檢測點的位置吧