研制成功,！中子探測器關(guān)鍵技術(shù)實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化

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近日,，中國散裂中子源（CSNS）探測器團(tuán)隊(duì)利用自主研制的磁控濺射大面積鍍硼專用裝置,，成功制備出滿足中子探測器需求的高性能大面積碳化硼薄膜樣品,，單片面積達(dá)到1500mm×500mm,，薄膜厚度1微米，全尺寸范圍內(nèi)厚度均勻性優(yōu)于±1.32%,，是目前國際上用于中子探測的最大面積的碳化硼薄膜,。

高性能大面積碳化硼薄膜樣品。受訪單位供圖,。

據(jù)了解,，經(jīng)過多年技術(shù)攻關(guān)和工藝試制，團(tuán)隊(duì)攻克了濺射靶材制作,、過渡層選擇、基材表面處理等對鍍膜質(zhì)量影響大的關(guān)鍵技術(shù),，利用該裝置制備了多種規(guī)格的碳化硼薄膜,，并成功應(yīng)用于CSNS多臺中子譜儀上的陶瓷GEM中子探測器，實(shí)現(xiàn)了中子探測器關(guān)鍵技術(shù)和器件的國產(chǎn)化,，為接下來研制更大面積的高性能新型中子探測器提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支撐,。