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李志堅
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M E M S 一詞由M i c r o E l e c t r o M
e c h a n i c a l S y s t e m 的4 個字首組成，
可譯為微電子機械系統(tǒng),。M E M S 的起源可以追溯到6
0 年代,，1 9 8 9 年后M E M S 一詞就漸漸成為一個世
界性的學術用語，M E M S 技術的研究開發(fā)也日益成為
國際上的一個熱點,。與M E M S 一詞同時流行的還有M
i c r o M a c h i n e （微機械）和M i c r o
S y s t e m （微系統(tǒng)）,。它們都以微小（M i c r o
）為特征,，有的強調機械,，有的強調系統(tǒng)，但當前人們
常不加區(qū)別地與M E M S 通用,。
7 i6 `+ |8 H" p" w 一般地說,，M E M S 具有以下非約束性的特征：
$ _/ u9 k. f- S
�,。�1 ）尺寸在毫米到微米范圍之內，區(qū)別于一般宏
（M a c r o ）,，即傳統(tǒng)的,、大于1 厘米尺度的“機械
”，但并非進入物理上的微觀層次,；
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�,。�2 ）基于（但不限于）硅微加工（M i c r o f
a b r i c a t i o n ）技術制造；
3 |; o9 m4 {- {4 n+ l. B$ K �,。�3 ）與微電子芯片類同,，可大批量、低成本生產
,，性能價格比傳統(tǒng)“機械”制造技術大幅提高,；
# E4 T2 A, { r9 v! n5 N （4 ）M E M S 中的“機械”不限于狹義的機械力
學中的機械,，它代表一切具有能量轉化,、傳輸等功能的
效應，包括力,、熱,、聲、光,、磁,，乃至化學、生物能等
,；
* L7 c9 j, R. p- h2 b5 X/ X$ e- C �,。�5 ）M E M S 的目標是微“機械”與I C 集成的
微系統(tǒng)———有智能的微系統(tǒng)。
- ?' `3 V+ v& [2 U/ y) ^ 用以上特征衡量,，用微電子技術（但不限于此）制
造的微小機構,、器件、部件和系統(tǒng)等都屬于M E M S 范
圍,，微機械和微系統(tǒng)只是M E M S 發(fā)展的不同層次,，有
關的科學技術都可統(tǒng)稱為M E M S 技術。
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當前,，信息技術已走上多媒體,、網絡化和智能化的
道路，微電子信息處理已向系統(tǒng)級芯片集成發(fā)展,。無論
從微型化或性能價格比發(fā)展看,，信息獲取（傳感）技術
和信息執(zhí)行技術,，即所謂“外部設備”技術都已成為發(fā)
展的瓶頸,；它們與“主機”的接口（H I ）也成為阻礙
處理速度的關鍵,。M E M S 技術的目標是把信息獲取、
處理和執(zhí)行一體化地集成在一起,，使之成為真正的系統(tǒng)
,，因此該技術對信息技術的革命意義是不言而喻的。對
傳統(tǒng)的“機械學”來說,，M E M S 技術不僅打開了“微
尺寸”新領域的大門,，也是真正實現機電一體化的開始
。M E M S 被認為是微電子技術的又一次革命,，對2 1
世紀的科學技術,、生產方式和人類生活質量都會有深遠
的影響,。
1 H& I& u* s* y: s0 R- V9 A
�,。ㄔd《科技導報》9 ／1 9 9 7 ，本文是一篇論
文的引言部分）
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《人民日報》（1 9 9 7 1 1 2 6 十版） |