MEMS技術(shù)（微電子機(jī)械系統(tǒng)）

douglasChen

微電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro Electro Mechanical System，簡(jiǎn)稱MEMS)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的新興學(xué)科,，它以微電子及機(jī)械加工技術(shù)為依托,，范圍涉及微電子學(xué),、機(jī)械學(xué)、力學(xué),、自動(dòng)控制學(xué),、材料科學(xué)等多種工程技術(shù)和學(xué)科。fficeffice" />

    完整的MEMS是由微傳感器,、微執(zhí)行器,、信號(hào)處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng),。其大小在毫米量級(jí)下,，其目標(biāo)是把信息的獲取,、處理和執(zhí)行集成在一起，組成具有多功能的微型系統(tǒng),，完成大尺寸機(jī)電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù),，也可以嵌入大尺寸系統(tǒng)中，從而大幅度地提高系統(tǒng)的自動(dòng)化,、智能化和可靠性水平,。正如集成電路技術(shù)把我們帶入信息時(shí)代一樣，很多科學(xué)家都認(rèn)為：MEMS會(huì)給人類社會(huì)帶來(lái)另一次技術(shù)革命,，它將對(duì)21世紀(jì)的科學(xué)技術(shù),、生產(chǎn)方式和人類生活質(zhì)量產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響，因而被認(rèn)為是關(guān)系到國(guó)家科技發(fā)展,、國(guó)防安全和經(jīng)濟(jì)繁榮的關(guān)鍵技術(shù),。

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還能再介紹的具體點(diǎn)嗎？