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定義
1 預(yù)防性維護(hù):為消除設(shè)備失效和生產(chǎn)的計(jì)劃外中斷的原因而策劃的措施,作為制造過程設(shè)計(jì)的一項(xiàng)輸出。
2 預(yù)見性維護(hù):基于過程數(shù)據(jù),,通過預(yù)測可能的失效模式以避免維護(hù)性問題的活動(dòng),。
3一級維護(hù)保養(yǎng):指對設(shè)備進(jìn)行日常的清潔,、維護(hù),、點(diǎn)檢。如機(jī)臺清潔(頂側(cè)底內(nèi)外),、疏通潤滑檢查,、檢查泵體油位、檢查儀表等,。頻度為每工作日,,其目的是防止和及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備運(yùn)行前、運(yùn)行中的不正常情況并予以排除,。
4二級維護(hù)保養(yǎng):指由設(shè)備管理者或設(shè)備擔(dān)當(dāng)按照計(jì)劃對設(shè)備進(jìn)行定期的維修,、維護(hù)。如:難度大的擦洗設(shè)備,、校準(zhǔn)精度,、更換易損件、緊固,、更換磨損的部件,、局部拆卸和檢查等。維護(hù)周期一般為一個(gè)月及以上的項(xiàng)目,。
5三級維護(hù)保養(yǎng):需要外部資源進(jìn)行的維護(hù),。如請廠商至公司對曝光機(jī)進(jìn)行維護(hù),、塵埃離子計(jì)數(shù)器送到外部作精密調(diào)整和校驗(yàn)等。維護(hù)周期一般為半年,、一年及以上的項(xiàng)目,。 |
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