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Mahr和Zygo表面粗糙度,探索結(jié)果相差巨大,!

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1#
發(fā)表于 2010-12-4 02:39:29 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
我用便攜式Mahr輪廓儀測得的表面粗糙度和用Zygo 7100 Series 測得的表面粗粗度差的非常多(用的Ra-附件里打錯了),。 初步分析了一下Zygo實測的一指定面積上的粗糙度,Mahr是測的一條直線上的粗糙度,。不過有細(xì)微差別是可以接受的,,現(xiàn)在差的非常大(附件)~( y9 A( t, o1 q: V7 q! G
會不會是因為Mahr輪廓儀的截至長度的影響?
6 l4 e1 f. L; U6 J3 |# }PS Mahr剛剛矯正過,,沒問題~/ n/ W0 ^) q. r2 c: Z
) ]  c8 ~! S; B2 ~! L0 c6 d* d
請教高手原因~8 M$ j" y* O* W! z, G5 C( y) B
9 a7 c( H% B- H7 \# y
2 X: p1 M6 k( s, q

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2#
發(fā)表于 2018-8-11 17:32:59 | 只看該作者
頂起來,,樓主明白了嗎
3#
發(fā)表于 2018-8-13 11:10:24 | 只看該作者
我又來賺威望啦�,。�
4#
發(fā)表于 2018-9-17 23:08:52 | 只看該作者

, S1 f/ x4 ~- w& j我又來賺威望啦�,�,!
5#
發(fā)表于 2020-3-6 13:39:08 | 只看該作者
儀器不準(zhǔn)吧
6#
發(fā)表于 2020-5-19 13:17:23 | 只看該作者
ZYGO也可以拉取線上的粗糙度的吧
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