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樓主: 夜闌臥聽
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關(guān)于精密測量

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11#
 樓主| 發(fā)表于 2015-5-18 20:06:49 | 只看該作者
樵薪 發(fā)表于 2015-5-17 18:05
8 ~( T) m5 |' e一定要用到光的干涉原理,。

# G- f7 u( M# r3 v0 y) c有詳細(xì)的方案嗎,?* G! G$ g5 }, N
12#
發(fā)表于 2015-5-18 20:15:27 | 只看該作者
夜闌臥聽 發(fā)表于 2015-5-18 20:04 ! q2 B) e6 j* w
激光準(zhǔn)直儀的激光束至少有1mm吧,,精度能滿足要求嗎,?

; k& g& P+ P" P' v! ]用透鏡組或者狹縫調(diào)節(jié)光束直徑
, V6 Q6 K' h8 G0 e) R0 @
13#
發(fā)表于 2015-5-19 09:37:09 | 只看該作者
情況你描述的不太清楚�,�,? (檢查兩個薄片上的細(xì)縫是否對齊)是個什么概念? X,Y方向尺寸一致(在極小誤差內(nèi)),?你的檢測精度是多少,?um級??,?  對于這種大尺寸的,要達(dá)到um級別,只有機(jī)器視覺了,,好的成像方案和高分辨率的相機(jī)組合,。當(dāng)然 成本還是挺高的,。
14#
發(fā)表于 2015-5-19 09:43:41 | 只看該作者
本帖最后由 無痕葉 于 2015-5-19 09:47 編輯
8 q& r, `* H- [6 b/ i& B' ?
7 X' p. @# ~6 x( \9 i7 J) g# K; a你的薄片的尺寸?,,縫隙尺寸?,,這個很重要,    尺寸越大涉及到的難度越大成本越高。
15#
發(fā)表于 2015-5-19 16:11:46 | 只看該作者
CCD
16#
 樓主| 發(fā)表于 2015-5-19 19:02:17 | 只看該作者
無痕葉 發(fā)表于 2015-5-19 09:37 ( V0 i! f% F; a4 k0 a1 E
情況你描述的不太清楚�,�,? (檢查兩個薄片上的細(xì)縫是否對齊)是個什么概念? X,Y方向尺寸一致(在極小誤差內(nèi) ...

, Z6 J4 f# w$ ?4 r/ Z% i: o) B每個薄片直徑約40mm,上面有均布的30μm的細(xì)縫,。想要的結(jié)果是從一個薄片向另一個薄片投影,,這兩個薄片能夠重合。誤差必須在5μm以內(nèi)
17#
 樓主| 發(fā)表于 2015-5-19 19:04:06 | 只看該作者
無痕葉 發(fā)表于 2015-5-19 09:43 7 w: X8 r6 @0 D, u$ R# S
你的薄片的尺寸,?,,縫隙尺寸?,,這個很重要,,    尺寸越大涉及到的難度越大成本越高,。

0 c/ @  {, x' p  d) k8 _! q每個薄片直徑約40mm,上面有均布的30μm的細(xì)縫。想要的結(jié)果是從一個薄片向另一個薄片投影,,這兩個薄片能夠重合,。誤差必須在5μm以內(nèi)
' [5 C  m5 ^* z' V
18#
 樓主| 發(fā)表于 2015-5-20 20:45:14 | 只看該作者
各位繼續(xù)討論啊,我的問題還沒解決
  _( J9 N' M! e9 H
19#
發(fā)表于 2015-5-27 11:25:11 | 只看該作者
本帖最后由 無痕葉 于 2015-5-27 11:33 編輯 / E1 y! f8 e. L

4 e/ f* y6 q- m: s* l/ ^你這個的確是um級的檢測精度,, 誤差控制在5um的話,,最小分辨率就是1um的概念,我們傾向于用高一個數(shù)量級的分辨率作為以檢測基準(zhǔn),,從而保證最終的檢測精度,,目前我們在做一個0.5um級別的檢測。
- N' `& Y; W8 U- |9 h* n當(dāng)然,,還不清楚你的最終結(jié)果是用來做什么,? 是用來控制尺寸合格嗎,? 對于你這種需求,我們檢測上來講一般是要設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)模板,,然后設(shè)置偏差參數(shù),,進(jìn)行模板比對,只要成像上能滿足精度,,算法都是很成熟的,,至于相機(jī),鏡頭,,光源這些要好好的選型,。
6 @6 ^0 A7 j+ {( |! Y  V! ^
6 {" E; K( \9 _2 E: p9 }$ hPS: 我猜測你的產(chǎn)品可能是跟光有關(guān)的東西。如果是商業(yè)化,,上規(guī)模的產(chǎn)品,,可以私聊。
20#
 樓主| 發(fā)表于 2015-5-27 20:01:17 | 只看該作者
無痕葉 發(fā)表于 2015-5-27 11:25 / U6 X0 |1 E% @
你這個的確是um級的檢測精度,, 誤差控制在5um的話,,最小分辨率就是1um的概念,我們傾向于用高一個數(shù)量級的分 ...

# n6 d1 x: x; v' C您在北京嗎,?
( |2 ~- R& @0 j0 q6 {
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