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回復(fù) 29# 的帖子
呵呵~還是揚(yáng)天師兄思路嚴(yán)謹(jǐn)。# ~! k" h1 n% K2 y, W; [
我說的0.004μm的重復(fù)精度是指我做實(shí)驗(yàn)的那次的經(jīng)驗(yàn)值,。被測(cè)的是同一個(gè)環(huán)規(guī)的同一個(gè)位置,。假如換個(gè)時(shí)間去測(cè),也許會(huì)有所偏差,,但是一個(gè)稍有耐心的技術(shù)人員20nm以內(nèi)是能夠保證的,。
: \; h9 t) B) i0 |# u" l這類超高精度的量?jī)x對(duì)環(huán)境的要求都很高,被測(cè)工件的物理因素也必須考慮,,調(diào)整適當(dāng)?shù)臏y(cè)力以滿足不同要求,。主要用來檢定環(huán)規(guī)塞規(guī)~~~
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假如樓主的問題按精度(有效分辨率)劃分,可分為低(10~100μ),、中(1~10μ),、高(0.1~1μ)、超高精度(,。,。~0.1μ),。大致上:
1 O! b- w. q$ ?( N( ^! Z, W; R尺類——低精度,,其中千分尺等精度較高;# p4 W7 ?7 M x
表類——中等精度,,百分表精度較低,;- t( b7 v/ H6 R: Y# a! D# \
氣動(dòng)、電動(dòng)等比較量?jī)x類——高精度,,也因廠家而異,;
: {- g3 ?8 i! w8 K光學(xué)量?jī)x——中~高精度;
4 [6 b/ a6 t" f3 Z) @/ l. f0 r( A其他測(cè)長儀,、高度儀,、三坐標(biāo)等不同產(chǎn)品精度跨度較大——中~超高。
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, j1 |4 n8 W1 B# E0 U& X& E# x+ N個(gè)人意見,,歡迎補(bǔ)充或拍磚~~:)* u+ Y) y, e! h1 t8 c
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[ 本帖最后由 野獸飄飄 于 2007-12-13 17:27 編輯 ] |
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