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回復(fù) 29# 的帖子
呵呵~還是揚(yáng)天師兄思路嚴(yán)謹(jǐn),。4 T' _3 z; n; j% P4 A+ G- Z
我說的0.004μm的重復(fù)精度是指我做實(shí)驗(yàn)的那次的經(jīng)驗(yàn)值。被測(cè)的是同一個(gè)環(huán)規(guī)的同一個(gè)位置,。假如換個(gè)時(shí)間去測(cè),,也許會(huì)有所偏差,但是一個(gè)稍有耐心的技術(shù)人員20nm以內(nèi)是能夠保證的,。
! ~, A; p. ]' t7 v9 K8 V: C這類超高精度的量?jī)x對(duì)環(huán)境的要求都很高,,被測(cè)工件的物理因素也必須考慮,調(diào)整適當(dāng)?shù)臏y(cè)力以滿足不同要求,。主要用來檢定環(huán)規(guī)塞規(guī)~~~
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- [1 J8 K! n- ^% O- ^3 @. ]$ o/ j假如樓主的問題按精度(有效分辨率)劃分,,可分為低(10~100μ)、中(1~10μ),、高(0.1~1μ),、超高精度(,。�,!�0.1μ),。大致上:
8 Q/ `' T9 w0 K& Z# T. I; q尺類——低精度,其中千分尺等精度較高,;! S9 A" j8 w/ c" F8 k4 B
表類——中等精度,,百分表精度較低;
' S( h: w. A7 D) M氣動(dòng),、電動(dòng)等比較量?jī)x類——高精度,,也因廠家而異;5 W" S e& G; U: o3 Z% M$ i
光學(xué)量?jī)x——中~高精度,;9 ?9 K" g$ ^4 [' x4 x
其他測(cè)長(zhǎng)儀,、高度儀、三坐標(biāo)等不同產(chǎn)品精度跨度較大——中~超高,。
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個(gè)人意見,,歡迎補(bǔ)充或拍磚~~:), u- o" c: E0 J6 G. _5 G1 Z: e
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[ 本帖最后由 野獸飄飄 于 2007-12-13 17:27 編輯 ] |
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