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回復(fù) 29# 的帖子
呵呵~還是揚(yáng)天師兄思路嚴(yán)謹(jǐn),。% h' ~6 R% T V' ~! d, K8 r# C
我說的0.004μm的重復(fù)精度是指我做實(shí)驗(yàn)的那次的經(jīng)驗(yàn)值。被測的是同一個(gè)環(huán)規(guī)的同一個(gè)位置,。假如換個(gè)時(shí)間去測,,也許會(huì)有所偏差,,但是一個(gè)稍有耐心的技術(shù)人員20nm以內(nèi)是能夠保證的,。
) _. Z$ |1 X. d+ m/ B這類超高精度的量儀對環(huán)境的要求都很高,被測工件的物理因素也必須考慮,,調(diào)整適當(dāng)?shù)臏y力以滿足不同要求,。主要用來檢定環(huán)規(guī)塞規(guī)~~~7 H$ U+ g' u+ u4 R$ [( j
7 j5 v0 B$ f9 @, C假如樓主的問題按精度(有效分辨率)劃分,可分為低(10~100μ),、中(1~10μ),、高(0.1~1μ)、超高精度(。,�,!�0.1μ)。大致上:
" ^" |) ^& D3 C尺類——低精度,,其中千分尺等精度較高,;
" w1 F3 H0 d' r/ R' j表類——中等精度,百分表精度較低,;# V% L2 r; b0 v. g# `, z
氣動(dòng),、電動(dòng)等比較量儀類——高精度,也因廠家而異,;
* m. L& ~9 Z, Y( {光學(xué)量儀——中~高精度,;- H3 D" s/ S- W. J% H& D: p x
其他測長儀、高度儀,、三坐標(biāo)等不同產(chǎn)品精度跨度較大——中~超高,。
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: ^* t* O, J) @! U個(gè)人意見,歡迎補(bǔ)充或拍磚~~:)' h' ]& b# D8 b) ~+ X! g& J& @1 [" d
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[ 本帖最后由 野獸飄飄 于 2007-12-13 17:27 編輯 ] |
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