納米級高效研磨加工技術(shù)

天氣

3 |* x" L. l X& {- b$ U2 N% b! E# g# t5 [5 J8 B6 S6 ^) Q5 c( @% h) y. G& j; @' h8 ~# u7 P" r) ^, H

納米級高效研磨加工技術(shù)

) Q) U. D: J# @' Q

- N, {1 `5 H+ t8 o o& R. ?# j* v( z' U b# U; d " Y" W9 h& ?" l% E0 T $ u# I: L" d3 z/ e9 }      　　本項目將固著磨料高速研磨技術(shù)與磨具保型磨損理論和工件均勻研磨加工技術(shù)相結(jié)合，實現(xiàn)了納米級高效研磨加工,，從而提高我國機械加工技術(shù)水平,，特別是超精密加工技術(shù)水平,。 　　納米級高效研磨加工技術(shù)主要適合應(yīng)用于單平面和雙平面的超精密研磨加工,，其加工精度要求達到納米級水平。該技術(shù)主要是采用固著磨料高速研磨加工技術(shù),，固著磨料高速研磨與傳統(tǒng)的散粒磨料研磨不同,，其磨料的密度分布是可控的。利用固著磨料研磨的這一特點,，根據(jù)工件磨具間的相對運動軌跡密度分布,，合理地設(shè)計磨具上磨料密度分布，以使磨具在研磨過程中所出現(xiàn)的磨損不影響磨具面型精度,，從而顯著提高工件的面型精度,，并且避免修整磨具的麻煩。在平面固著磨料研磨中，磨具的旋轉(zhuǎn)運動是主運動,，工件的運動是輔助運動,。在大部分情況下，工件是浮動壓在磨具上,，其運動規(guī)律是未知的,。因此，要對工件受力進行分析,，才能求出其受力狀態(tài)及運動規(guī)律,。取工件為整個研磨系統(tǒng)的分離體，建立工件受力平衡微分方程,，求解該方程就能得到工件的運動規(guī)律,。一旦掌握了磨具和工件的運動規(guī)律，就可以求出它們間的相對運動及相對運動軌跡密度分布,。從而根據(jù)工件相對磨具的運動軌跡密度分布，設(shè)計磨具上磨料密度分布,，使得磨具在磨損后不喪失原有的面型精度,，這就保證了工件的面型精度。 　　本項目在原有的單平面磨具保型磨損理論的基礎(chǔ)上,，開發(fā)出工件均勻研磨技術(shù),，從而進一步提高了工件的面型精度，同時還建立了固著磨料雙平面高速研磨磨具保型磨損理論,，研制了雙平面高速研磨機,，并進行了固著磨料雙平面高速研磨加工實驗，通過實驗完善了有關(guān)加工工藝和研磨機,，實現(xiàn)了對工件的兩個平行表面同時進行高速研磨加工,。本項目還研究了固著磨料高速研磨中工件加工表面的形成規(guī)律，探討了有關(guān)研磨參數(shù)對工件加工表面的影響規(guī)律,，并在此基礎(chǔ)上,，進一步提高了工件的表面質(zhì)量，實現(xiàn)了低成本,、高效率的納米級研磨加工,，工件已加工表面粗糙度達0.88nm。

livecs68

樓主是精密設(shè)備方面的人嗎?

天氣

恩,，做精密研磨設(shè)備的

livecs68

磨12寸片的?

天氣

12寸,，太小了，我們最大可以精密研磨36寸以上的，甚至更大,，不過那機器太貴了

livecs68

36寸是機器的尺寸吧,樓主是干晶園的嗎,實用的晶園好象是12寸耶.

天氣

呵呵,，猜錯了呵呵，,。另一個帖我回了,，我是做研磨拋光設(shè)備的，用戶很廣泛,，不單單是硅晶體,，密封，玻璃,，航空等等,，都是。,。那些東西尺寸可就不一樣了,，大小都有

livecs68

噢,樓主不光拋晶園,還拋別的東西,應(yīng)該能拋大型物鏡吧,什么控制方式,精度達到怎樣,在以后的大型太空望遠鏡的生產(chǎn)中能有作為嗎?

天氣

設(shè)備控制方式有多種，普通的,，PLC控制,，CNC控制，研磨拋光平面度可以達到1/10光帶吧,。至于你說的物鏡,，應(yīng)該是凹凸的吧，工廠內(nèi)的研磨拋光車間目前對平面的研磨拋光可以做到最好,，對于曲面可能還得公司的英美總部做,，中國工廠將來會很有發(fā)展的。,。