超精密加工

camvinh

% V3 ?- l. z) |' T  `9 K/ c. p7 Z# x( n我們研究室做超精密加工研究,，機(jī)床加工精度達(dá)到1μm以下,，表面粗糙度5-10nm,，一刀就出鏡面,。有興趣的朋友,，可以交流交流。

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qq707459754

清華,？ 牛掰

[email protected]

用的什么刀具,？
7 B# I/ |* x0 C, S粗糙度和精度可以代替磨削嗎？
最長試驗(yàn)工件是多少,？

camvinh

[email protected] 發(fā)表于 2017-10-10 10:01
! B' C6 ~0 F. [0 K- |用的什么刀具,？
粗糙度和精度可以代替磨削嗎？
' d% Z$ A4 N4 m8 V) A最長試驗(yàn)工件是多少,？

" @* f% ~7 N* h" I! j6 E% D$ z用天然金剛石刀具,，粗糙度能達(dá)到5-10nm，精度<1μm

喀秋莎88

大理石床身，看起來高端啊,。

camvinh

[email protected] 發(fā)表于 2017-10-10 10:01
- x; A2 F$ ~, B" g用的什么刀具,？
粗糙度和精度可以代替磨削嗎？
9 U% @0 p2 a7 H5 O6 m' f最長試驗(yàn)工件是多少,？

最長150mm

喀秋莎88

千島2000轉(zhuǎn)手動(dòng)卡盤,？

camvinh

喀秋莎88 發(fā)表于 2017-10-10 10:08
9 ?# K8 p, b$ E' M9 S+ t千島2000轉(zhuǎn)手動(dòng)卡盤？

是的

﹏ˋ仰望

看著很牛啊

dengxiangxi

超精密切削加工
主要有超精密車削,、鏡面磨削和研磨等,。在超精密車床上用經(jīng)過精細(xì)研磨的單晶金剛石車刀進(jìn)行微量車削,切削厚度僅1微米左右,，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度,、表面高度光潔的零件,。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，最高精度可達(dá)0.1微米,，表面粗糙度為Rz0.05微米,。
2 v& ?/ j6 z0 c( C( Z超精密特種加工
& R$ }, M3 `; B' W加工精度以納米，甚至最終以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標(biāo)時(shí),，切削加工方法已不能適應(yīng),，需要借助特種加工的方法，即應(yīng)用化學(xué)能,、電化學(xué)能,、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的結(jié)合能,，從而去除工件表面的部分原子間的附著,、結(jié)合或晶格變形，以達(dá)到超精密加工的目的,。屬于這類加工的有機(jī)械化學(xué)拋光,、離子濺射和離子注入、電子束曝射,、激光束加工,、金屬蒸鍍和分子束外延等。這些方法的特點(diǎn)是對表面層物質(zhì)去除或添加的量可以作極細(xì)微的控制,。但是要獲得超精密的加工精度,，仍有賴于精密的加工設(shè)備和精確的控制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物,。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進(jìn)行曝射,，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉,，制成掩膜,。電子束曝射制版需要采用工作臺(tái)定位精度高達(dá)±0.01微米的超精密加工設(shè)備。