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樓主 |
發(fā)表于 2008-7-17 09:41:26
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離子注入
離子注入技術(shù)又是近30年來(lái)在國(guó)際上蓬勃發(fā)展和廣泛應(yīng)用的一種材料表面改性高新技術(shù)。其基本原理是:用能量為100keV量級(jí)的離子束入射到材料中去,,離子束與材料中的原子或分子將發(fā)生一系列物理的和化學(xué)的相互作用,入射離子逐漸損失能量,,最后停留在材料中,,并引起材料表面成分、結(jié)構(gòu)和性能發(fā)生變化,,從而優(yōu)化材料表面性能,,或獲得某些新的優(yōu)異性能。此項(xiàng)高新技術(shù)由于其獨(dú)特而突出的優(yōu)點(diǎn),,已經(jīng)在半導(dǎo)體材料摻雜,,金屬、陶瓷,、高分子聚合物等的表面改性上獲得了極為廣泛的應(yīng)用,取得了巨大的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益,。作為一種材料表面工程技術(shù),,離子注入技術(shù)具有以下一些其它常規(guī)表面處理技術(shù)難以達(dá)到的獨(dú)特優(yōu)點(diǎn):(1)它是一種純凈的無(wú)公害的表面處理技術(shù);(2)無(wú)需熱激活,,無(wú)需在高溫環(huán)境下進(jìn)行,,因而不會(huì)改變工件的外形尺寸和表面光潔度;(3)離子注入層由離子束與基體表面發(fā)生一系列物理和化學(xué)相互作用而形成的一個(gè)新表面層,,它與基體之間不存在剝落問(wèn)題,;(4)離子注入后無(wú)需再進(jìn)行機(jī)械加工和熱處理。 |
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