拋光液的主要產品可以按主要成分的不同分為以下幾大類:金剛石拋光液(多晶金剛石拋光液,、單晶金剛石拋光液和納米金剛石拋光液),、氧化硅拋光液(即CMP拋光液)、氧化鈰拋光液,、氧化鋁拋光液和碳化硅拋光液等幾類,。 [2]
5 g) q" o! }" n, h! p1 ~( ]多晶金剛石拋光液5 ~: v0 @6 _0 M! e8 |
多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,配合高分散性配方,,可以在保持高切削率的同時不易對研磨材質產生劃傷,。3 _( T2 w( a7 ^7 l, n/ L
主要應用于藍寶石襯底的研磨、LED芯片的背部減薄,、光學晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光,。' Q {. I. Y; g# O+ D
氧化硅拋光液
3 \. X9 V2 c& M! A7 Z氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經特殊工藝生產的一種高純度低金屬離子型拋光產品,。( c% v3 l: ?; U! I
廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光,,如:硅晶圓片、鍺片,、化合物半導體材料砷化鎵,、磷化銦,精密光學器件,、藍寶石片等的拋光加工。
' U1 O" N5 l3 @0 X氧化鈰拋光液% k4 w6 h7 e6 M" q. H; m
氧化鈰拋光液是以微米或亞微米級CeO2為磨料的氧化鈰研磨液,,該研磨液具有分散性好,、粒度細,、粒度分布均勻、硬度適中等特點,。" Y( m! @% q( t; o G9 y
適用于高精密光學儀器,,光學鏡頭,微晶玻璃基板,,晶體表面,、集成電路光掩模等方面的精密拋光。
0 K+ g5 Z5 o3 R2 V氧化鋁和碳化硅拋光液! u& V' {/ J: H) p* L% ]( H; n
是以超細氧化鋁和碳化硅微粉為磨料的拋光液,,主要成分是微米或亞微米級的磨料,。
: Z, r5 B" c h+ Q+ |! t# W# E主要用于高精密光學儀器、硬盤基板,、磁頭,、陶瓷、光纖連接器等方面的研磨和拋光,。 |