拋光液的主要產(chǎn)品可以按主要成分的不同分為以下幾大類:金剛石拋光液(多晶金剛石拋光液,、單晶金剛石拋光液和納米金剛石拋光液),、氧化硅拋光液(即CMP拋光液)、氧化鈰拋光液,、氧化鋁拋光液和碳化硅拋光液等幾類,。 [2]
7 y( R2 g8 O5 J: E9 d7 a! v, h' s1 ?多晶金剛石拋光液
+ [7 G0 x3 z/ c0 E& ?& u' C多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,配合高分散性配方,,可以在保持高切削率的同時不易對研磨材質(zhì)產(chǎn)生劃傷,。' A( T4 @) a1 d) t3 @4 P% B
主要應(yīng)用于藍寶石襯底的研磨、LED芯片的背部減薄,、光學(xué)晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光,。
3 C8 C0 j( F% i" x+ ?8 p氧化硅拋光液
B* G8 O) \8 Y$ X6 R. V5 f6 f氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品,。. r1 k# u; r* }6 Z6 k' Z
廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光,,如:硅晶圓片、鍺片,、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵,、磷化銦,精密光學(xué)器件,、藍寶石片等的拋光加工,。. T: a3 ~1 D& |/ W
氧化鈰拋光液
# n5 d) d2 B1 c$ [' W+ O氧化鈰拋光液是以微米或亞微米級CeO2為磨料的氧化鈰研磨液,該研磨液具有分散性好,、粒度細,、粒度分布均勻、硬度適中等特點,。
7 ?4 K1 a) ]1 r1 X$ p適用于高精密光學(xué)儀器,,光學(xué)鏡頭,,微晶玻璃基板,晶體表面,、集成電路光掩模等方面的精密拋光,。
H, a$ W, M3 h" \6 C氧化鋁和碳化硅拋光液 S" P1 o% y: [4 n1 a3 F6 j
是以超細氧化鋁和碳化硅微粉為磨料的拋光液,主要成分是微米或亞微米級的磨料,。' H1 N9 `0 W3 G: J! H
主要用于高精密光學(xué)儀器,、硬盤基板、磁頭,、陶瓷,、光纖連接器等方面的研磨和拋光。 |