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發(fā)表于 2020-12-10 08:31:46
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拋光液的主要產(chǎn)品可以按主要成分的不同分為以下幾大類:金剛石拋光液(多晶金剛石拋光液,、單晶金剛石拋光液和納米金剛石拋光液),、氧化硅拋光液(即CMP拋光液)、氧化鈰拋光液,、氧化鋁拋光液和碳化硅拋光液等幾類,。 [2] $ c* P8 i+ j& T5 r! r
多晶金剛石拋光液% ]- B6 |0 q( S. E6 V7 e1 o, w; u
多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,配合高分散性配方,,可以在保持高切削率的同時(shí)不易對(duì)研磨材質(zhì)產(chǎn)生劃傷,。; T1 n0 e, _; ~' G( [. `4 L
主要應(yīng)用于藍(lán)寶石襯底的研磨、LED芯片的背部減薄,、光學(xué)晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光,。
6 [& @( d8 s2 ]+ u氧化硅拋光液
- v. E& Z: Q( Y氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品,。% A6 P( u2 `- N! m, |4 O' K
廣泛用于多種材料納米級(jí)的高平坦化拋光,,如:硅晶圓片、鍺片,、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵,、磷化銦,精密光學(xué)器件,、藍(lán)寶石片等的拋光加工,。& `. e2 i/ N+ a7 `% K4 s, u9 U* q
氧化鈰拋光液/ y' v3 \; w! N# k& B
氧化鈰拋光液是以微米或亞微米級(jí)CeO2為磨料的氧化鈰研磨液,該研磨液具有分散性好,、粒度細(xì),、粒度分布均勻、硬度適中等特點(diǎn),。3 T2 N1 p1 N R$ p7 S
適用于高精密光學(xué)儀器,,光學(xué)鏡頭,微晶玻璃基板,,晶體表面,、集成電路光掩模等方面的精密拋光,。
b- N6 ]! F7 w$ J: B1 S9 E氧化鋁和碳化硅拋光液 h3 o7 U4 e+ H) T( c
是以超細(xì)氧化鋁和碳化硅微粉為磨料的拋光液,主要成分是微米或亞微米級(jí)的磨料,。# G' r. x) {; l7 l! Z
主要用于高精密光學(xué)儀器,、硬盤基板、磁頭,、陶瓷,、光纖連接器等方面的研磨和拋光。 |
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