為什么最頂尖的光刻機(jī)是來(lái)自荷蘭,而不是美國(guó),?
20世紀(jì)60-70年代,,光刻機(jī)的早期發(fā)展階段,美國(guó)是走在世界前面的,。那時(shí)的光刻機(jī)原理很簡(jiǎn)單,,就是把光通過(guò)帶電路圖的掩膜投影到涂有光敏膠的晶圓上,那時(shí)的晶圓也只有1英寸大小,。
80年代左右,,由于美國(guó)的扶持,一些裝配產(chǎn)業(yè)向日本轉(zhuǎn)移,,日本也抓住了機(jī)遇,,在半導(dǎo)體領(lǐng)域趁勢(shì)崛起。90年代,,日本的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)成為了全球第一,,出口額超過(guò)美國(guó)。
1984年,,荷蘭光刻機(jī)廠商ASML成立,,此時(shí)的阿斯麥只是飛利浦和一家小公司ASM International以50:50的比例組成的合資公司,最初員工只有31人,。在成立初期,,ASML沒(méi)錢(qián)沒(méi)客戶,甚至只能在簡(jiǎn)易木板房工作,。
1997年,,英特爾和美國(guó)能源部牽頭組建EUV LLC前沿技術(shù)組織,集成了通訊巨頭摩托羅拉,、IBM,、芯片巨頭AMD,以及能源部下屬三大國(guó)家實(shí)驗(yàn)室:勞倫斯-利弗莫爾國(guó)家實(shí)驗(yàn)室,、桑迪亞國(guó)家實(shí)驗(yàn)室和勞倫斯伯克利實(shí)驗(yàn)室,。
此時(shí)的美國(guó)政府將EUV技術(shù)視為推動(dòng)本國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù),并不太希望外國(guó)企業(yè)參與其中,,但是此時(shí)美國(guó)本土光刻機(jī)企業(yè)已是“扶不起的阿斗”,。
最后,ASML同意在美國(guó)建立一所工廠和一個(gè)研發(fā)中心,以滿足所有美國(guó)本土的產(chǎn)能需求,,保證55%的零部件均從美國(guó)供應(yīng)商處采購(gòu),,并接受定期審查,才被納入美國(guó)EUV LLC聯(lián)盟,。
這也就是為什么說(shuō)“ASML一半是歐洲的,,一半是美國(guó)的�,!�ASML被允許加入EUV LLC之后便順風(fēng)順?biāo)伙w沖天,,而尼康和佳能卻被排除在外,從而失去了未來(lái)的門(mén)票,。
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