為什么最頂尖的光刻機是來自荷蘭,而不是美國,?
20世紀60-70年代,,光刻機的早期發(fā)展階段,美國是走在世界前面的,。那時的光刻機原理很簡單,,就是把光通過帶電路圖的掩膜投影到涂有光敏膠的晶圓上,那時的晶圓也只有1英寸大小,。
80年代左右,,由于美國的扶持,一些裝配產(chǎn)業(yè)向日本轉(zhuǎn)移,,日本也抓住了機遇,,在半導體領(lǐng)域趁勢崛起。90年代,,日本的半導體產(chǎn)業(yè)成為了全球第一,,出口額超過美國。
1984年,,荷蘭光刻機廠商ASML成立,,此時的阿斯麥只是飛利浦和一家小公司ASM International以50:50的比例組成的合資公司,最初員工只有31人,。在成立初期,,ASML沒錢沒客戶,甚至只能在簡易木板房工作,。
1997年,,英特爾和美國能源部牽頭組建EUV LLC前沿技術(shù)組織,集成了通訊巨頭摩托羅拉,、IBM,、芯片巨頭AMD,以及能源部下屬三大國家實驗室:勞倫斯-利弗莫爾國家實驗室,、桑迪亞國家實驗室和勞倫斯伯克利實驗室,。
此時的美國政府將EUV技術(shù)視為推動本國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù),并不太希望外國企業(yè)參與其中,,但是此時美國本土光刻機企業(yè)已是“扶不起的阿斗”,。
最后,ASML同意在美國建立一所工廠和一個研發(fā)中心,,以滿足所有美國本土的產(chǎn)能需求,,保證55%的零部件均從美國供應商處采購,,并接受定期審查,才被納入美國EUV LLC聯(lián)盟,。
這也就是為什么說“ASML一半是歐洲的,,一半是美國的�,!�ASML被允許加入EUV LLC之后便順風順水一飛沖天,,而尼康和佳能卻被排除在外,,從而失去了未來的門票,。
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