荷蘭出手,！ASML DUV光刻機設(shè)備出口受限,，今夏前實施

Callejon · 發(fā)表于 2023-3-14 09:54:49

當(dāng)?shù)貢r間3月8日,，荷蘭出手了,，宣布計劃對半導(dǎo)體技術(shù)出口實施新的管制。

這一消息源于荷蘭外貿(mào)與發(fā)展合作大臣Liesje Schreinemacher致荷蘭議員的一封信,，其中寫道：

“鑒于技術(shù)發(fā)展和地緣政治背景,，政府得出結(jié)論，為了國家安全,，有必要擴大對特定半導(dǎo)體制造設(shè)備的現(xiàn)有出口限制,。”

信中還提到,，荷蘭方面將建立國家出口管制清單,，管制措施也將在今年夏天之前開始實施。

可以注意到,，致信中并沒有直接點名ASML,、光刻機和中國，但聯(lián)想到1月份美日荷三方于白宮會面商討出口限制一事,，以及達成的那份沒有公布細節(jié)的協(xié)議，本次荷蘭出手的緣故顯而易見,。

而就在之后接受媒體采訪時,，Schreinemacher也表示，新禁令下還是有許多更低端的設(shè)備可以銷往中國,，無需取得許可,，包括制造汽車、冰箱,、電話和風(fēng)力發(fā)電機所需芯片的設(shè)備,。

荷蘭宣告出手限制出口的第二天，光刻機龍頭ASML也做出了自己的回應(yīng),。

“最先進”DUV設(shè)備受限

事實上,，自2019年以來，ASML的EUV設(shè)備就被禁止出口中國大陸,。這一次的焦點,，在于DUV設(shè)備,，其主要用于生產(chǎn)28nm及更成熟制程的芯片，通過多次曝光,，也是可以實現(xiàn)7nm制程的,。

在聲明中，ASML先是表明荷蘭政府的措施不會對公司2023年的財務(wù)產(chǎn)生重大影響,。隨后稱,，最新出口管制并不適用于所有的浸沒式光刻工具，而是僅適用于“最先進”工具,。

至于“最先進”的具體定義,，荷蘭政府方面尚沒有給出確切的消息。不過ASML給出了自己的解釋——關(guān)鍵的浸沒式系統(tǒng),，即TWINSCAN NXT:2000i和后續(xù)推出的浸沒式系統(tǒng),。

ASML官網(wǎng)顯示，其浸沒式DUV設(shè)備目前主要有3款產(chǎn)品,，分別是TWINSCAN NXT:2050i,、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:1980Di,。其中依照ASML對“最先進”的理解,，NXT:2050i和NXT:2000i將受到此次出口限制影響，NXT:1980Di則不受影響,。

據(jù)悉,，NXT:1980Di 的分辨率可以達到≤38nm，每小時可以生產(chǎn)275片晶圓,，當(dāng)前主要被用于45nm以下成熟制程的生產(chǎn),。

依據(jù)ASML在聲明中所言，主要關(guān)注成熟制程的客戶,，使用不太先進的浸沒式光刻工具也能夠得到很好的服務(wù),。

技術(shù)限制步步緊逼

當(dāng)前的光刻機市場，ASML與尼康,、佳能一起拿下超過90%的市場份額,。其中，ASML主要著眼于高端市場,，也是全球唯一的EUV光刻機供應(yīng)商,，尼康和佳能則聚焦中低端市場。

自然而然的,，這個被稱作“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上明珠”的領(lǐng)域,，也被美國視作技術(shù)封鎖，尤其是芯片相關(guān)技術(shù)封鎖的重要一環(huán)。

事實上,，自2018年來,，美國就已經(jīng)開始向荷蘭政府施壓，要求其撤銷ASML向中國出口EUV光刻機的許可,。它也做到了,，自2019年開始ASML EUV設(shè)備的銷售就受到了限制。

而現(xiàn)在,，輪到了DUV設(shè)備,。

今年1月份，外媒報道稱荷蘭首相Mark Rutte會見美國總統(tǒng)拜登時,，雙方就ASML向中國銷售DUV設(shè)備可能實施的出口限制問題進行了討論,，并于27日達成了一項協(xié)議。

直到現(xiàn)在,，三方都沒有就這份協(xié)議進行公開或討論,，但荷蘭此次宣布的出口限制，也讓外界對這份協(xié)議有了一番猜測,。

值得注意的是,，彼時在白宮與美國政府商討事宜的還有日本，后者在半導(dǎo)體材料和設(shè)備全球市場中同樣保持領(lǐng)先,。有數(shù)據(jù)統(tǒng)計稱,，日本企業(yè)在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場的份額為35%，在全球半導(dǎo)體原材料市場的份額為52%,。

就在荷蘭宣布計劃對半導(dǎo)體技術(shù)出口實施新管制之后不久,，也有消息稱日本最快將于本周發(fā)布最新芯片設(shè)備出口政策。對比荷蘭此次的做法,，預(yù)計日本也將在很大程度上遵循美國的腳步,。針對中國的半導(dǎo)體技術(shù)限制正一步步增強。