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當(dāng)?shù)貢r(shí)間3月8日,荷蘭出手了,宣布計(jì)劃對(duì)半導(dǎo)體技術(shù)出口實(shí)施新的管制,。
這一消息源于荷蘭外貿(mào)與發(fā)展合作大臣Liesje Schreinemacher致荷蘭議員的一封信,其中寫道:
“鑒于技術(shù)發(fā)展和地緣政治背景,,政府得出結(jié)論,,為了國(guó)家安全,有必要擴(kuò)大對(duì)特定半導(dǎo)體制造設(shè)備的現(xiàn)有出口限制,�,!�
信中還提到,荷蘭方面將建立國(guó)家出口管制清單,,管制措施也將在今年夏天之前開始實(shí)施,。
可以注意到,致信中并沒(méi)有直接點(diǎn)名ASML,、光刻機(jī)和中國(guó),,但聯(lián)想到1月份美日荷三方于白宮會(huì)面商討出口限制一事,以及達(dá)成的那份沒(méi)有公布細(xì)節(jié)的協(xié)議,,本次荷蘭出手的緣故顯而易見,。
而就在之后接受媒體采訪時(shí),Schreinemacher也表示,,新禁令下還是有許多更低端的設(shè)備可以銷往中國(guó),無(wú)需取得許可,,包括制造汽車,、冰箱、電話和風(fēng)力發(fā)電機(jī)所需芯片的設(shè)備,。
荷蘭宣告出手限制出口的第二天,,光刻機(jī)龍頭ASML也做出了自己的回應(yīng)。
“最先進(jìn)”DUV設(shè)備受限事實(shí)上,,自2019年以來(lái),,ASML的EUV設(shè)備就被禁止出口中國(guó)大陸,。這一次的焦點(diǎn),在于DUV設(shè)備,,其主要用于生產(chǎn)28nm及更成熟制程的芯片,,通過(guò)多次曝光,也是可以實(shí)現(xiàn)7nm制程的,。
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在聲明中,,ASML先是表明荷蘭政府的措施不會(huì)對(duì)公司2023年的財(cái)務(wù)產(chǎn)生重大影響。隨后稱,,最新出口管制并不適用于所有的浸沒(méi)式光刻工具,,而是僅適用于“最先進(jìn)”工具。
至于“最先進(jìn)”的具體定義,,荷蘭政府方面尚沒(méi)有給出確切的消息,。不過(guò)ASML給出了自己的解釋——關(guān)鍵的浸沒(méi)式系統(tǒng),即TWINSCAN NXT:2000i和后續(xù)推出的浸沒(méi)式系統(tǒng),。
ASML官網(wǎng)顯示,,其浸沒(méi)式DUV設(shè)備目前主要有3款產(chǎn)品,分別是TWINSCAN NXT:2050i,、TWINSCAN NXT:2000i,、TWINSCAN NXT:1980Di。其中依照ASML對(duì)“最先進(jìn)”的理解,,NXT:2050i和NXT:2000i將受到此次出口限制影響,,NXT:1980Di則不受影響。
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據(jù)悉,,NXT:1980Di 的分辨率可以達(dá)到≤38nm,,每小時(shí)可以生產(chǎn)275片晶圓,當(dāng)前主要被用于45nm以下成熟制程的生產(chǎn),。
依據(jù)ASML在聲明中所言,,主要關(guān)注成熟制程的客戶,使用不太先進(jìn)的浸沒(méi)式光刻工具也能夠得到很好的服務(wù),。
技術(shù)限制步步緊逼
當(dāng)前的光刻機(jī)市場(chǎng),,ASML與尼康、佳能一起拿下超過(guò)90%的市場(chǎng)份額,。其中,,ASML主要著眼于高端市場(chǎng),也是全球唯一的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商,,尼康和佳能則聚焦中低端市場(chǎng),。
自然而然的,這個(gè)被稱作“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上明珠”的領(lǐng)域,,也被美國(guó)視作技術(shù)封鎖,,尤其是芯片相關(guān)技術(shù)封鎖的重要一環(huán),。
事實(shí)上,自2018年來(lái),,美國(guó)就已經(jīng)開始向荷蘭政府施壓,,要求其撤銷ASML向中國(guó)出口EUV光刻機(jī)的許可。它也做到了,,自2019年開始ASML EUV設(shè)備的銷售就受到了限制,。
而現(xiàn)在,輪到了DUV設(shè)備,。
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今年1月份,,外媒報(bào)道稱荷蘭首相Mark Rutte會(huì)見美國(guó)總統(tǒng)拜登時(shí),雙方就ASML向中國(guó)銷售DUV設(shè)備可能實(shí)施的出口限制問(wèn)題進(jìn)行了討論,,并于27日達(dá)成了一項(xiàng)協(xié)議,。
直到現(xiàn)在,三方都沒(méi)有就這份協(xié)議進(jìn)行公開或討論,,但荷蘭此次宣布的出口限制,,也讓外界對(duì)這份協(xié)議有了一番猜測(cè)。
值得注意的是,,彼時(shí)在白宮與美國(guó)政府商討事宜的還有日本,,后者在半導(dǎo)體材料和設(shè)備全球市場(chǎng)中同樣保持領(lǐng)先。有數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)稱,,日本企業(yè)在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的份額為35%,,在全球半導(dǎo)體原材料市場(chǎng)的份額為52%。
就在荷蘭宣布計(jì)劃對(duì)半導(dǎo)體技術(shù)出口實(shí)施新管制之后不久,,也有消息稱日本最快將于本周發(fā)布最新芯片設(shè)備出口政策,。對(duì)比荷蘭此次的做法,預(yù)計(jì)日本也將在很大程度上遵循美國(guó)的腳步,。針對(duì)中國(guó)的半導(dǎo)體技術(shù)限制正一步步增強(qiáng),。
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