真空泄露,？真空腔體

小袁好累

請教大家一個真空不保壓的問題,？腔室16L,，真空腔體在出廠檢驗過漏氣率6.2*10-2次方pa.L/s
腔體主要材質(zhì)是304不銹鋼,，腔體的門板是鋁合金,，內(nèi)表面電解拋光過,。
現(xiàn)在情況是，空抽,，介質(zhì)是空氣,，關(guān)閉擋板閥后，理論來說是保壓狀態(tài),，
但結(jié)果是關(guān)閉擋板閥就開始升壓,，從10pa緩慢升壓,，至10小時后升壓到150pa
后面再次腔體撿漏卻沒有發(fā)現(xiàn)漏點，對了,，總共抽真空20幾次,，都是用常規(guī)空氣破真空的

gunianyisheng

有沒有可能真空內(nèi)部虛漏

gunianyisheng

常規(guī)空氣吸附在內(nèi)壁，造成虛漏,，或者其他部件放氣

ericshen12

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-7-16 13:29
常規(guī)空氣吸附在內(nèi)壁,，造成虛漏，或者其他部件放氣

你好啊,，這方面資料是在什么書籍上有介紹啊,。

駱馬湖鐵匠

腔室做的不是很好，普通的正常做出來的背景值可以達到5E-9Pa.m³/s

游離縉云

內(nèi)壁有沒有拋光,，焊接是內(nèi)焊嗎,，有沒有死角儲存有空氣？

小火鷹

烘烤過嗎

小袁好累

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-7-16 13:28
有沒有可能真空內(nèi)部虛漏

有點懷疑是燕尾槽O型圈哪里沒有開個連通的槽,，讓燕尾槽與腔體內(nèi)部連接,，抽真空的時候順便把燕尾槽夾層的空氣也抽走，這樣減少內(nèi)部虛漏的可能

小袁好累

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-7-16 13:29
常規(guī)空氣吸附在內(nèi)壁,，造成虛漏,，或者其他部件放氣

里面沒有其他零件，空抽,，密封件采用的低放氣率的氟橡膠,，之前有150度烘烤1小時脫氣過

小袁好累

駱馬湖鐵匠 發(fā)表于 2024-7-20 08:01
腔室做的不是很好，普通的正常做出來的背景值可以達到5E-9Pa.m³/s

我也覺得供應(yīng)商做的不行,，感覺電解拋光做的不好,，你這個漏率要求我在磁控濺射上看到過，我這個閃蒸要求不是很高,，之前要求E-4pa L/S,，供應(yīng)商都達不到