真空泄露？真空腔體

小袁好累

請(qǐng)教大家一個(gè)真空不保壓的問(wèn)題,？腔室16L,，真空腔體在出廠檢驗(yàn)過(guò)漏氣率6.2*10-2次方pa.L/s
腔體主要材質(zhì)是304不銹鋼,，腔體的門(mén)板是鋁合金,，內(nèi)表面電解拋光過(guò)。
現(xiàn)在情況是,，空抽,，介質(zhì)是空氣，關(guān)閉擋板閥后,，理論來(lái)說(shuō)是保壓狀態(tài),，
但結(jié)果是關(guān)閉擋板閥就開(kāi)始升壓,，從10pa緩慢升壓，至10小時(shí)后升壓到150pa
后面再次腔體撿漏卻沒(méi)有發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn),，對(duì)了,，總共抽真空20幾次，都是用常規(guī)空氣破真空的

gunianyisheng

有沒(méi)有可能真空內(nèi)部虛漏

gunianyisheng

常規(guī)空氣吸附在內(nèi)壁,，造成虛漏,，或者其他部件放氣

ericshen12

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-7-16 13:29
常規(guī)空氣吸附在內(nèi)壁，造成虛漏,，或者其他部件放氣

你好啊,，這方面資料是在什么書(shū)籍上有介紹啊。

駱馬湖鐵匠

腔室做的不是很好,，普通的正常做出來(lái)的背景值可以達(dá)到5E-9Pa.m³/s

游離縉云

內(nèi)壁有沒(méi)有拋光,，焊接是內(nèi)焊嗎，有沒(méi)有死角儲(chǔ)存有空氣,？

小火鷹

烘烤過(guò)嗎

小袁好累

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-7-16 13:28
有沒(méi)有可能真空內(nèi)部虛漏

有點(diǎn)懷疑是燕尾槽O型圈哪里沒(méi)有開(kāi)個(gè)連通的槽,，讓燕尾槽與腔體內(nèi)部連接，抽真空的時(shí)候順便把燕尾槽夾層的空氣也抽走,，這樣減少內(nèi)部虛漏的可能

小袁好累

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-7-16 13:29
常規(guī)空氣吸附在內(nèi)壁,，造成虛漏，或者其他部件放氣

里面沒(méi)有其他零件,，空抽,，密封件采用的低放氣率的氟橡膠，之前有150度烘烤1小時(shí)脫氣過(guò)

小袁好累

駱馬湖鐵匠 發(fā)表于 2024-7-20 08:01
腔室做的不是很好,，普通的正常做出來(lái)的背景值可以達(dá)到5E-9Pa.m³/s

我也覺(jué)得供應(yīng)商做的不行,，感覺(jué)電解拋光做的不好，你這個(gè)漏率要求我在磁控濺射上看到過(guò),，我這個(gè)閃蒸要求不是很高,，之前要求E-4pa L/S，供應(yīng)商都達(dá)不到