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發(fā)表于 2024-11-12 15:52:46
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菲科半導(dǎo)體(張家港)有限公司(PHT Robot Inc.):提供EFEM・Sorter等晶圓搬運設(shè)備。
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北方華創(chuàng):作為國內(nèi)的龍頭設(shè)備廠之一,,北方華創(chuàng)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域有廣泛的業(yè)務(wù)拓展,。$ U' I; m) t, N( [) l) `6 O
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中微公司:同樣是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)頭羊,中微公司在刻蝕設(shè)備和沉積設(shè)備方面有較強(qiáng)的實力,。
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盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司:以半導(dǎo)體清洗設(shè)備和先進(jìn)封裝濕法設(shè)備為核心,,近年開始進(jìn)軍沉積設(shè)備領(lǐng)域。
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# K1 m( Z# p% ?威孚(蘇州)技術(shù)有限公司:提供尋邊器(Aligner),,適用于直徑最小2時至最大12吋的晶圓,、玻璃等。1 I+ j8 v [! @$ J& f4 \
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0 ?$ n4 n# m0 f9 X地心科技:提供氣浮系統(tǒng),,包括氣浮轉(zhuǎn)臺,,氣浮軸承直線臺,以及XY雙軸的平面氣浮產(chǎn)品等,。
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) j3 W7 k. T( k" J8 z( B0 E上銀科技(中國)有限公司:提供晶圓裝卸機(jī)Load Port HLP系列,,可共享8吋與12吋產(chǎn)品加載載出。1 N/ [- m, R0 o* A
0 T3 O5 ]8 H2 f4 O& n& @- T8 _0 O上海大族富創(chuàng)得科技股份有限公司:提供EFEM設(shè)備,,包括圓裝載系統(tǒng)(Loadport),、晶圓運輸機(jī)器人(Robot)和晶圓對準(zhǔn)器(Aligner)三大部件。
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蘇州矽格納科技有限公司:提供Wafer Aligner晶圓尋邊器,、Wafer Transfer晶圓轉(zhuǎn)換器等產(chǎn)品,。 |
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