微電子機械系統(tǒng)發(fā)展展望

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微電子機械系統(tǒng)發(fā)展展望 （高技術(shù)）

　　
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李志堅 / p& f+ _- G) G 　　M E M S 一詞由M i c r o E l e c t r o M e c h a n i c a l S y s t e m 的4 個字首組成， 可譯為微電子機械系統(tǒng)。M E M S 的起源可以追溯到6 0 年代,，1 9 8 9 年后M E M S 一詞就漸漸成為一個世 界性的學術(shù)用語,，M E M S 技術(shù)的研究開發(fā)也日益成為 國際上的一個熱點,。與M E M S 一詞同時流行的還有M i c r o M a c h i n e （微機械）和M i c r o S y s t e m （微系統(tǒng)）,。它們都以微小（M i c r o ）為特征,，有的強調(diào)機械,，有的強調(diào)系統(tǒng)，但當前人們 常不加區(qū)別地與M E M S 通用,。 0 j& d+ }& P2 C' s. Y 　　一般地說,，M E M S 具有以下非約束性的特征： 　　（1 ）尺寸在毫米到微米范圍之內(nèi),，區(qū)別于一般宏 （M a c r o ）,，即傳統(tǒng)的、大于1 厘米尺度的“機械 ”,，但并非進入物理上的微觀層次； . H ~4 n- W) U. `* N" D9 s! J5 O 　�,。�2 ）基于（但不限于）硅微加工（M i c r o f a b r i c a t i o n ）技術(shù)制造,； 　　（3 ）與微電子芯片類同,，可大批量,、低成本生產(chǎn) ，性能價格比傳統(tǒng)“機械”制造技術(shù)大幅提高； , a, ^# b! r1 X3 d 　�,。�4 ）M E M S 中的“機械”不限于狹義的機械力 學中的機械,，它代表一切具有能量轉(zhuǎn)化、傳輸?shù)裙δ艿?BR>效應,，包括力,、熱、聲,、光,、磁，乃至化學,、生物能等 ,； . Z/ [* t5 H8 L3 b. M. H 　　（5 ）M E M S 的目標是微“機械”與I C 集成的 微系統(tǒng)———有智能的微系統(tǒng),。 　　用以上特征衡量,，用微電子技術(shù)（但不限于此）制 造的微小機構(gòu)、器件,、部件和系統(tǒng)等都屬于M E M S 范 圍,，微機械和微系統(tǒng)只是M E M S 發(fā)展的不同層次，有 關(guān)的科學技術(shù)都可統(tǒng)稱為M E M S 技術(shù),。 　　當前,，信息技術(shù)已走上多媒體、網(wǎng)絡(luò)化和智能化的 道路,，微電子信息處理已向系統(tǒng)級芯片集成發(fā)展,。無論 從微型化或性能價格比發(fā)展看，信息獲�,。▊鞲校┘夹g(shù) 和信息執(zhí)行技術(shù),，即所謂“外部設(shè)備”技術(shù)都已成為發(fā) 展的瓶頸；它們與“主機”的接口（H I ）也成為阻礙 處理速度的關(guān)鍵,。M E M S 技術(shù)的目標是把信息獲取,、 處理和執(zhí)行一體化地集成在一起，使之成為真正的系統(tǒng) ,，因此該技術(shù)對信息技術(shù)的革命意義是不言而喻的,。對 傳統(tǒng)的“機械學”來說，M E M S 技術(shù)不僅打開了“微 尺寸”新領(lǐng)域的大門,，也是真正實現(xiàn)機電一體化的開始 ,。M E M S 被認為是微電子技術(shù)的又一次革命，對2 1 世紀的科學技術(shù),、生產(chǎn)方式和人類生活質(zhì)量都會有深遠 的影響,。 % E+ @. [: P. N8 r, C, y9 ~* m: ~ 　�,。ㄔ�載《科技導報》9 ／1 9 9 7 ，本文是一篇論 文的引言部分） - `- r9 v G' N$ _ ~) B 　　《人民日報》（1 9 9 7 1 1 2 6 十版）

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M E M S                  微電子機械系統(tǒng)   美國叫法      基于IC工藝發(fā)展起來的
i c r o M a c h i n e  微機械           日本豬叫法    基于精密加工發(fā)展起來的
8 o7 A! N, L, d! W3 H: lS y s t e m              微系統(tǒng)           歐洲叫法      基于德國LIGA工藝發(fā)展起來的

胡輝958857016

MEMS在當前中國還不可能做高深的探究,。,。。,。

luyupei

我們原來公司的總工是這方面的雙博士,，在中國混不下去了，又回美國了,！