真空泵的選擇

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選用真空泵時,，需要注意下列事項：

    1,、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級,。

    2,、正確地選擇真空泵的工作點,。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg,。因而,，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好。

    3,、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

    4,、正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣，因而,，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵,，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速,，兩者組合起來,，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,，有的真空泵不能在大氣壓下工作,，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,，需要前級泵,，故都需要把泵組合起來使用。

    5,、真空設(shè)備對油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵,，如：水環(huán)泵,、分子篩吸附泵、濺射離子泵,、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵,，加上一些防油污染措施,，如加冷阱、障板,、擋油阱等,，也能達(dá)到清潔真空要求。

    6,、了解被抽氣體成分,，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆�,；覊m,，有無腐蝕性等。選擇真空泵時,，需要知道氣體成分,，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒,、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,，如冷凝器,、除塵器等。

    7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外,。

    8,、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施,。

    9、真空泵的價格,、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費用,。

水環(huán)式真空泵的選擇

一、泵類型的確定

泵的類型主要由工作所需的氣量,、真空度或排氣壓力而定,。

泵工作時，需要注意以下兩個方面：
1.盡可能要求在高效區(qū)內(nèi),，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行,。
2.應(yīng)避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運(yùn)行。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行,，不僅效率極低,，而且工作很不穩(wěn)定,，易產(chǎn)生振動和噪音,。對于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行,，往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象,，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動。汽蝕會導(dǎo)致泵體,、葉輪等零件的損壞,，以致泵無法工作。

根據(jù)以上原則,，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時,，可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,，單級泵往往不能滿足,，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,，即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,，可選用兩級泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可選用水環(huán)－大氣泵或水環(huán)－羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置,。

如果只作真空泵用,，則選用單作用泵比較好。因為單作用泵的構(gòu)造簡單,，容易制造和維護(hù),，且在高真空情況下抗汽蝕性好。
如果僅作較大氣量的壓縮機(jī)使用,，則選用雙作用的泵比較合適,。因為雙作用泵的氣量大，體積小,，重量輕,，徑向力能得到自動平衡，軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂,，泵的使用壽命較長,。

二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵

初步選定了泵的類型之后,，對于真空泵,，還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號。

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