真空機(jī)組搭配,，請(qǐng)教

晶戈鐵馬 · 發(fā)表于 2012-2-9 10:42:36

假如需要給一個(gè)1000mm×1000mm×1000mm的真空室配一套真空機(jī)組,，高真空,，真空度要求能達(dá)到5×10e-3pa,采用分子泵加旋片泵的組合,。

現(xiàn)在想知道的是：

一臺(tái)抽速1300L/s的分子泵抽和10臺(tái)抽速110L/s的分子泵抽,，哪個(gè)效果更好,？然后假如選用1300L/s的分子泵,，前級(jí)旋片泵的抽速應(yīng)選多大？

2266998 · 發(fā)表于 2012-2-9 11:08:03

這個(gè)得計(jì)算,，復(fù)雜也不負(fù)責(zé),，但得算，

你算好了,，也可以發(fā)上來,，大家給你看看,，猜謎是不行的，

晶戈鐵馬 · 發(fā)表于 2012-2-9 14:28:49

2266998 發(fā)表于 2012-2-9 11:08 ( t% g. ~$ R9 Z
這個(gè)得計(jì)算,，復(fù)雜也不負(fù)責(zé),，但得算，
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你算好了,，也可以發(fā)上來,，大家給你看看，猜謎是不行的,，

998大俠：如果前級(jí)抽到1000Pa的時(shí)候開分子泵,，抽到1000Pa這個(gè)時(shí)間相對(duì)于整個(gè)抽氣時(shí)間是不是可以忽略不計(jì)？按高真空下的抽氣時(shí)間算,，主要考慮真空室材料的出氣率,，但是這個(gè)材料出氣率的表我沒有...，還有就是10個(gè)110L/s小分子泵同時(shí)抽,，是單純的疊加為1100L/s嗎,？還有對(duì)于1300L/s的分子泵,，查到前級(jí)選12L/s的泵就可以了,。

2266998 · 發(fā)表于 2012-2-9 14:35:47

晶戈鐵馬發(fā)表于 2012-2-9 14:28 ! m. X: a5 f4 Z* ~2 h+ y% j
998大俠：如果前級(jí)抽到1000Pa的時(shí)候開分子泵，抽到1000Pa這個(gè)時(shí)間相對(duì)于整個(gè)抽氣時(shí)間是不是可以忽略不計(jì),？ ...

對(duì)于一個(gè)真空系統(tǒng),，你要計(jì)算，而不是估計(jì),，怎么玩,，阿拉告訴你，

對(duì)于一種真空泵,，有一個(gè)工作曲線,，即在一定時(shí)間內(nèi)，一定工況下,，可以達(dá)到的真空度,，這個(gè)還要結(jié)合工程熱力學(xué)計(jì)算，因?yàn)殡S著抽氣,，溫度是變化的,，曲線也是變化的，這個(gè)要計(jì)算,，

粗真空系統(tǒng),，到一個(gè)真空度，就沒有效果了,，這個(gè)要計(jì)算,，比如升溫，還可以繼續(xù)抽氣，這個(gè)要折算,，

轉(zhuǎn)換的時(shí)候,，要考慮閥的密封性，再計(jì)算細(xì)真空的抽氣速率,，

總之,，這是技術(shù)工作，要每個(gè)步驟玩出來,，不能估計(jì)什么東西,，別人說的也未必對(duì)，尤其網(wǎng)上,，胡說的非常多,，說了也不負(fù)責(zé)，比如阿拉,，哈哈,，

你按阿拉說的，每個(gè)步驟耐心玩吧,，

喝水都發(fā)胖 · 發(fā)表于 2012-5-30 16:54:05

根據(jù)樓主描述的真空腔體，是個(gè)不算大的,，而且真空度要求也是中真空,，很容易達(dá)到。

對(duì)于這樣的真空腔體,，除非你有特別的抽氣時(shí)間需求,，否則選大泵和小泵都是一個(gè)樣。另外如果樓主說的10臺(tái)小泵采取分布式安裝,，那當(dāng)然要好點(diǎn),，但分布式安裝的其前級(jí)泵如何處理,？

所以啊還是根據(jù)腔體上開口尺寸選擇一臺(tái)分子泵+機(jī)械泵組合即可，建議分子泵選擇600L/S的,，前級(jí)泵選擇6~8 L/S的就完完全全的滿足要求了,。

再大的分子泵，你就會(huì)發(fā)現(xiàn)等機(jī)械泵抽到10~1 Pa后啟動(dòng)分子泵,，還沒等分子泵滿轉(zhuǎn)速頻率,，真空度已經(jīng)達(dá)到你的要求了。呵呵

以上的前提是真空腔體不存在大的泄漏,，內(nèi)部材料不存在大的漏放率,。

喝水都發(fā)胖 · 發(fā)表于 2012-5-30 16:59:42

另外補(bǔ)充一點(diǎn)

計(jì)算過程我就沒幫你算了，你自己下載真空設(shè)計(jì)手冊(cè)算算吧,，有相應(yīng)的章節(jié)

計(jì)算選擇什么樣的泵所需要的抽氣時(shí)間

前級(jí)泵的選擇等等,。

下載地址我找了個(gè)百度網(wǎng)盤的，正規(guī)的,。

http://pan.baidu.com/netdisk/singlepublic?fid=228853_149853622

駱馬湖鐵匠 · 發(fā)表于 2024-3-5 10:40:36

網(wǎng)址已失效了,，可惜了

gunianyisheng · 發(fā)表于 2024-5-24 14:15:07

駱馬湖鐵匠發(fā)表于 2024-3-5 10:40
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Mechtool,搜這個(gè)可以查真空設(shè)計(jì)手冊(cè),，就是不能下載

駱馬湖鐵匠 · 發(fā)表于 2024-5-25 08:07:58

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-5-24 14:151 W/ v7 F7 m' ?: D Z
Mechtool,搜這個(gè)可以查真空設(shè)計(jì)手冊(cè),，就是不能下載

謝謝大俠

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