真空機組搭配,，請教

晶戈鐵馬

假如需要給一個1000mm×1000mm×1000mm的真空室配一套真空機組,，高真空,，真空度要求能達到5×10e-3pa,采用分子泵加旋片泵的組合。
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+ e; A' B# F9 k0 E7 H現(xiàn)在想知道的是：
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' s: y3 J1 |$ C  M一臺抽速1300L/s的分子泵抽和10臺抽速110L/s的分子泵抽，哪個效果更好,？然后假如選用1300L/s的分子泵,，前級旋片泵的抽速應(yīng)選多大？

2266998

這個得計算,，復(fù)雜也不負(fù)責(zé),，但得算，

你算好了,，也可以發(fā)上來,，大家給你看看，猜謎是不行的,，

晶戈鐵馬

2266998 發(fā)表于 2012-2-9 11:08
9 C  b4 Y: m2 c0 X2 A, c1 j' N這個得計算,，復(fù)雜也不負(fù)責(zé)，但得算,，
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你算好了,，也可以發(fā)上來，大家給你看看,，猜謎是不行的,，

6 @7 e' X$ n' ]9 I9 z, G, r998大俠：如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵，抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計,？按高真空下的抽氣時間算,，主要考慮真空室材料的出氣率，但是這個材料出氣率的表我沒有...,，還有就是10個110L/s小分子泵同時抽,，是單純的疊加為1100L/s嗎？還有對于1300L/s的分子泵,，查到前級選12L/s的泵就可以了,。

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2266998

晶戈鐵馬 發(fā)表于 2012-2-9 14:28
! W- a. H7 N* x, g998大俠：如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵，抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計,？ ...

對于一個真空系統(tǒng),，你要計算，而不是估計,，怎么玩,，阿拉告訴你，

- H& L' ?( ~* T( d: {4 [對于一種真空泵,，有一個工作曲線,，即在一定時間內(nèi),，一定工況下，可以達到的真空度,，這個還要結(jié)合工程熱力學(xué)計算,，因為隨著抽氣，溫度是變化的,，曲線也是變化的,，這個要計算，

粗真空系統(tǒng),，到一個真空度,，就沒有效果了，這個要計算,，比如升溫,，還可以繼續(xù)抽氣，這個要折算,，
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& k; Z1 X! C; B; c! K1 X* N轉(zhuǎn)換的時候,，要考慮閥的密封性，再計算細(xì)真空的抽氣速率,，

. |6 n6 w1 e$ `% D- j3 K總之,，這是技術(shù)工作，要每個步驟玩出來,，不能估計什么東西,，別人說的也未必對，尤其網(wǎng)上,，胡說的非常多,，說了也不負(fù)責(zé)，比如阿拉,，哈哈，

$ f' e4 [6 A1 Z# J+ a: V你按阿拉說的,，每個步驟耐心玩吧,，

喝水都發(fā)胖

根據(jù)樓主描述的真空腔體，是個不算大的,，而且真空度要求也是中真空,，很容易達到。

- V& D& M" H, B- U- [( f對于這樣的真空腔體,，除非你有特別的抽氣時間需求,，否則選大泵和小泵都是一個樣。另外如果樓主說的10臺小泵采取分布式安裝,，那當(dāng)然要好點,，但分布式安裝的其前級泵如何處理？

所以啊還是根據(jù)腔體上開口尺寸選擇一臺分子泵+機械泵組合即可,，建議分子泵選擇600L/S的,，前級泵選擇6~8 L/S的就完完全全的滿足要求了。
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再大的分子泵,，你就會發(fā)現(xiàn)等機械泵抽到10~1 Pa后啟動分子泵,，還沒等分子泵滿轉(zhuǎn)速頻率，真空度已經(jīng)達到你的要求了,。呵呵

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以上的前提是 真空腔體不存在大的泄漏,，內(nèi)部材料不存在大的漏放率。

喝水都發(fā)胖

另外補充一點

計算過程我就沒幫你算了,，你自己下載真空設(shè)計手冊算算吧,，有相應(yīng)的章節(jié)
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& j5 T& Y$ u& w. o7 B& s  ^計算選擇什么樣的泵所需要的抽氣時間

前級泵的選擇等等。

1 Z# i1 P/ N! b* [; E下載地址我找了個百度網(wǎng)盤的,，正規(guī)的,。

$ @/ K4 i) K. Q% |http://pan.baidu.com/netdisk/singlepublic?fid=228853_149853622

駱馬湖鐵匠

網(wǎng)址已失效了，可惜了

gunianyisheng

駱馬湖鐵匠 發(fā)表于 2024-3-5 10:40
網(wǎng)址已失效了,，可惜了

Mechtool,搜這個可以查真空設(shè)計手冊,，就是不能下載
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駱馬湖鐵匠

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-5-24 14:15
/ p% P/ i/ ~. G( o5 a7 \" E2 KMechtool,搜這個可以查真空設(shè)計手冊，就是不能下載

謝謝大俠
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