微型機械加工技術(shù)的國外發(fā)展現(xiàn)狀

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1959年,，Richard P Feynman(1965年諾貝爾物理獎獲得者)就提出了微型機械的設(shè)想。1962年第一個硅微型壓力傳感器問世,，氣候開發(fā)出尺寸為50～500μm的齒輪、齒輪泵,、氣動渦輪及聯(lián)接件等微機械,。1965年，斯坦福大學(xué)研制出硅腦電極探針,，后來又在掃描隧道顯微鏡,、微型傳感器方面取得成功。1987年美國加州大學(xué)伯克利分校研制出轉(zhuǎn)子直徑為60～12μm的利用硅微型靜電機,，顯示出利用硅微加工工藝制造小可動結(jié)構(gòu)并與集成電路兼容以制造微小系統(tǒng)的潛力,。
　　微型機械在國外已受到政府部門、企業(yè)界,、高等學(xué)校與研究機構(gòu)的高度重視,。美國MIT、Berkeley,、Stanford\AT&T和的15名科學(xué)家在上世紀(jì)八十年代末提出"小機器,、大機遇：關(guān)于新興領(lǐng)域--微動力學(xué)的報告"的國家建議書，聲稱"由于微動力學(xué)(微系統(tǒng))在美國的緊迫性,，應(yīng)在這樣一個新的重要技術(shù)領(lǐng)域與其他國家的競爭中走在前面",，建議中央財政預(yù)支費用為五年5000萬美元,，得到美國領(lǐng)導(dǎo)機構(gòu)重視,，連續(xù)大力投資，并把航空航天,、信息和MEMS作為科技發(fā)展的三大重點,。美國宇航局投資1億美元著手研制"發(fā)現(xiàn)號微型衛(wèi)星"，美國國家科學(xué)基金會把MEMS作為一個新崛起的研究領(lǐng)域制定了資助微型電子機械系統(tǒng)的研究的計劃,，從1998年開始,，資助MIT,，加州大學(xué)等8所大學(xué)和貝爾實驗室從事這一領(lǐng)域的研究與開發(fā)，年資助額從100萬,、200萬加到1993年的500萬美元,。1994年發(fā)布的《美國國防部技術(shù)計劃》報告，把MEMS列為關(guān)鍵技術(shù)項目,。美國國防部高級研究計劃局積極領(lǐng)導(dǎo)和支持MEMS的研究和軍事應(yīng)用,，現(xiàn)已建成一條MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝線以促進新型元件/裝置的研究與開發(fā)。美國工業(yè)主要致力于傳感器,、位移傳感器,、應(yīng)變儀和加速度表等傳感器有關(guān)領(lǐng)域的研究。很多機構(gòu)參加了微型機械系統(tǒng)的研究,，如康奈爾大學(xué),、斯坦福大學(xué)、加州大學(xué)伯克利分校,、密執(zhí)安大學(xué),、威斯康星大學(xué)、老倫茲得莫爾國家研究等,。加州大學(xué)伯克利傳感器和執(zhí)行器中心(BSAC)得到國防部和十幾家公司資助1500萬元后,，建立了1115m2研究開發(fā)MEMS的超凈實驗室。
/ T1 A/ B7 Z* @; w0 z: N　　日本通產(chǎn)省1991年開始啟動一項為期10年,、耗資250億日元的微型大型研究計劃,，研制兩臺樣機，一臺用于醫(yī)療,、進入人體進行診斷和微型手術(shù),，另一臺用于工業(yè)，對飛機發(fā)動機和原子能設(shè)備的微小裂紋實施維修,。該計劃有筑波大學(xué),、東京工業(yè)大學(xué)、東北大學(xué),、早稻田大學(xué)和富士通研究所等幾十家單位參加,。
　　歐洲工業(yè)發(fā)達國家也相繼對微型系統(tǒng)的研究開發(fā)進行了重點投資，德國自1988年開始微加工十年計劃項目,，其科技部于1990～1993年撥款4萬馬克支持"微系統(tǒng)計劃"研究,，并把微系統(tǒng)列為本世紀(jì)初科技發(fā)展的重點，德國首創(chuàng)的LIGA工藝,，為MEMS的發(fā)展提供了新的技術(shù)手段,，并已成為三維結(jié)構(gòu)制作的優(yōu)選工藝。法國1993年啟動的7000萬法郎的"微系統(tǒng)與技術(shù)"項目,。歐共體組成"多功能微系統(tǒng)研究網(wǎng)絡(luò)NEXUS",，聯(lián)合協(xié)調(diào)46個研究所的研究,。瑞士在其傳統(tǒng)的鐘表制造行業(yè)和小型精密機械工業(yè)的基礎(chǔ)上也投入了MEMS的開發(fā)工作，1992年投資為1000萬美元,。英國政府也制訂了納米科學(xué)計劃,。在機械、光學(xué),、電子學(xué)等領(lǐng)域列出8個項目進行研究與開發(fā),。為了加強歐洲開發(fā)MEMS的力量，一些歐洲公司已組成MEMS開發(fā)集團,。
　　目前已有大量的微型機械或微型系統(tǒng)被研究出來,，例如：尖端直徑為5μm的微型鑷子可以夾起一個紅血球，尺寸為7mm×7mm×2mm的微型泵流量可達250μl/min能開動的汽車,，在磁場中飛行的機器蝴蝶,，以及集微型速度計、微型陀螺和信號處理系統(tǒng)為一體的微型慣性組合(MIMU),。德國創(chuàng)造了LIGA工藝,，制成了懸臂梁、執(zhí)行機構(gòu)以及微型泵,、微型噴嘴,、濕度、流量傳感器以及多種光學(xué)器件,。美國加州理工學(xué)院在飛機翼面粘上相當(dāng)數(shù)量的1mm的微梁,，控制其彎曲角度以影響飛機的空氣動力學(xué)特性。美國大批量生產(chǎn)的硅加速度計把微型傳感器(機械部分)和集成電路(電信號源,、放大器,、信號處理和正檢正電路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范圍內(nèi)。日本研制的數(shù)厘米見方的微型車床可加工精度達1.5μm的微細(xì)軸,。
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