超精密加工的技術(shù)目標(biāo)/ i9 t, l7 R' |, e
精密和超精密加工技術(shù)是指加工精度達(dá)到某一量級(jí)的所有制造技術(shù)的總稱。機(jī)械加工經(jīng)過一般加工,精密加工和超精密加工三個(gè)階段,超精密加工已達(dá)到納米加工境界,逐漸接近加工精度和表面質(zhì)量的極限,代表了先進(jìn)制造技術(shù)的一個(gè)重要方面,。根據(jù)我國(guó)目前科學(xué)技術(shù)的發(fā)展水平,通常把尺寸,、形狀精度在0.1nm100nm,,表面粗糙度Ra≤10nm的所有加工技術(shù)稱為超精密加工技術(shù)。
' P9 \0 `5 m1 [6 _& J, F超精密加工技術(shù)是以高精度為目標(biāo)的制造技術(shù),,是一門綜合性的系統(tǒng)工程,,它的發(fā)展綜合地利用了機(jī)床、工具,、測(cè)量,、環(huán)境技術(shù)、優(yōu)化工藝,、計(jì)算機(jī)技術(shù),、數(shù)控技術(shù)的進(jìn)步,,并正向更高精度的納米(nm)級(jí)發(fā)展,。目前在各種領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,,并在自身發(fā)展的同時(shí),還為其它許多學(xué)科提供了重要的理論基礎(chǔ)和研究手段,。4 q% z0 E* l2 G
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