超精密加工的技術(shù)目標(biāo)
5 g/ M; _: ~4 X n# A& z3 A) d8 E精密和超精密加工技術(shù)是指加工精度達到某一量級的所有制造技術(shù)的總稱,。機械加工經(jīng)過一般加工,,精密加工和超精密加工三個階段,超精密加工已達到納米加工境界,,逐漸接近加工精度和表面質(zhì)量的極限,,代表了先進制造技術(shù)的一個重要方面,。根據(jù)我國目前科學(xué)技術(shù)的發(fā)展水平,通常把尺寸,、形狀精度在0.1nm100nm,,表面粗糙度Ra≤10nm的所有加工技術(shù)稱為超精密加工技術(shù)。, X" v, g" e, B1 t: a+ _, T
超精密加工技術(shù)是以高精度為目標(biāo)的制造技術(shù),,是一門綜合性的系統(tǒng)工程,它的發(fā)展綜合地利用了機床,、工具,、測量、環(huán)境技術(shù),、優(yōu)化工藝,、計算機技術(shù)、數(shù)控技術(shù)的進步,,并正向更高精度的納米(nm)級發(fā)展,。目前在各種領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,并在自身發(fā)展的同時,,還為其它許多學(xué)科提供了重要的理論基礎(chǔ)和研究手段,。
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