一種硅片傳輸機(jī)械手

丹楓911 · 發(fā)表于 2013-5-30 20:28:49

種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備上的硅片傳輸機(jī)械手

gaolaodajiayou · 發(fā)表于 2013-5-30 22:13:17

看的不是很清楚,，半導(dǎo)體行業(yè)真空用的很普遍,，現(xiàn)在最牛逼的已經(jīng)是讓硅片懸浮移動(dòng),。

長(zhǎng)江漂流 · 發(fā)表于 2013-5-30 22:16:00

是用的非接觸吸盤來(lái)吸取硅片的吧,。

WAST1989 · 發(fā)表于 2013-5-30 22:42:44

gaolaodajiayou 發(fā)表于 2013-5-30 22:13
" s1 W8 k! ]; O$ U7 `看的不是很清楚,，半導(dǎo)體行業(yè)真空用的很普遍，現(xiàn)在最牛逼的已經(jīng)是讓硅片懸浮移動(dòng),。

斗膽問(wèn)大俠,，懸浮移動(dòng)是什么原理，也是控制氣量嗎,？

xmdesign · 發(fā)表于 2013-5-31 07:14:30

WAST1989 發(fā)表于 2013-5-30 22:42
0 c2 F1 F' f# T# T2 I0 ^斗膽問(wèn)大俠,，懸浮移動(dòng)是什么原理，也是控制氣量嗎,？

用的是中學(xué)物理實(shí)驗(yàn)的氣懸浮方式,，在傳動(dòng)展路過(guò)過(guò)一臺(tái)成品機(jī)器的展位，可以控制前,、后,、左、右懸浮飄移

931673326 · 發(fā)表于 2013-5-31 21:20:48

看看

天氣 · 發(fā)表于 2015-6-17 22:49:36

感覺(jué)稍顯笨重,。,。。

bitter007 · 發(fā)表于 2016-7-19 16:59:35

xmdesign 發(fā)表于 2013-5-31 07:14
" ^: b$ U' B" M& x; m# H3 I( {用的是中學(xué)物理實(shí)驗(yàn)的氣懸浮方式,，在傳動(dòng)展路過(guò)過(guò)一臺(tái)成品機(jī)器的展位,，可以控制前、后,、左,、右懸浮飄移$ ~ ?$ N7 Y' m& o& f; g1 A4 b3 L
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