一種硅片傳輸機械手

丹楓911 · 發(fā)表于 2013-5-30 20:28:49

種應(yīng)用于半導體設(shè)備上的硅片傳輸機械手

gaolaodajiayou · 發(fā)表于 2013-5-30 22:13:17

看的不是很清楚,，半導體行業(yè)真空用的很普遍，現(xiàn)在最牛逼的已經(jīng)是讓硅片懸浮移動,。

長江漂流 · 發(fā)表于 2013-5-30 22:16:00

是用的非接觸吸盤來吸取硅片的吧,。

WAST1989 · 發(fā)表于 2013-5-30 22:42:44

gaolaodajiayou 發(fā)表于 2013-5-30 22:13 ' p' t- _. T- L/ h5 `
看的不是很清楚,，半導體行業(yè)真空用的很普遍，現(xiàn)在最牛逼的已經(jīng)是讓硅片懸浮移動,。

斗膽問大俠,，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎,？

xmdesign · 發(fā)表于 2013-5-31 07:14:30

WAST1989 發(fā)表于 2013-5-30 22:42 / W7 A; S6 w9 w e+ r2 [8 g+ |
斗膽問大俠,，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎,？

用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位,，可以控制前,、后、左,、右懸浮飄移

931673326 · 發(fā)表于 2013-5-31 21:20:48

看看

天氣 · 發(fā)表于 2015-6-17 22:49:36

感覺稍顯笨重,。。,。

bitter007 · 發(fā)表于 2016-7-19 16:59:35

xmdesign 發(fā)表于 2013-5-31 07:14- ~/ v* i" V, @" O# N: l. n2 \) n
用的是中學物理實驗的氣懸浮方式,，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制前,、后,、左、右懸浮飄移; C- Q/ g6 \5 _% j* ^% |
...

展會上見過磁懸浮傳動的

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