電容微位移傳感器是通過什么來實現(xiàn)測量的,，有什么方法？

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電容微位移傳感器是通過什么來實現(xiàn)測量的,，有什么方法,？

baikenor

電阻應變形式的傳感器一般是組成電橋,，靠直流電壓激勵,，當收到壓力等信號時，電阻發(fā)生變化,，兩端輸出壓差信號

電容由于直流無法通過,，采用交流激勵，電容在交流下有阻抗,，這樣就和直流激勵電阻一樣了,，一樣分析,，當電容變化（介質(zhì)變化，基板距離,，大小變化）的時候,，  兩端也會有電壓輸出
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電感性的傳感器也是交流激勵，當電感的鐵芯,，或者線圈變化時,，也會有電壓輸出


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