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微米級(jí)精度的測(cè)量,,有哪些方法

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發(fā)表于 2015-3-22 10:42:27 | 顯示全部樓層 |閱讀模式
最近在測(cè)一些數(shù)據(jù),,要求精度至少在1um以內(nèi),,現(xiàn)在自己了解到的關(guān)于一些測(cè)量的工具如游標(biāo)卡尺,、深度尺,、高度尺,、百分表,、塞尺也就在0.01mm的精度,內(nèi)徑,、外徑千分尺可以達(dá)到0.001mm但是在一些場(chǎng)合用他們來測(cè)量的話礙于結(jié)構(gòu)形式不能實(shí)現(xiàn),,而千分表的話則對(duì)于多次測(cè)量需要找一個(gè)基準(zhǔn)做參考,且主要用來測(cè)跳動(dòng)的居多�,,F(xiàn)在機(jī)床上精度用的比較高的測(cè)量裝置就是光柵尺,,然而它不能像卡尺這樣用著隨心應(yīng)手,再者一些比較高端的測(cè)量工具如激光干涉儀等一些光學(xué)測(cè)量元件其價(jià)格昂貴,。& b2 |+ N8 u1 D
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各位在實(shí)際測(cè)量一些微米級(jí)或者精度更高的尺寸時(shí),,用的是什么測(cè)量工具,?* h- b9 s9 s5 R: Z" b

/ y6 c% l: q  ^& s. d4 z) s小弟不才,才疏短淺望各位前輩能指點(diǎn)一二,。謝謝,。如測(cè)量直線導(dǎo)軌, 滑塊的測(cè)量與導(dǎo)軌側(cè)面的距離要求精度微米級(jí)以內(nèi),。
發(fā)表于 2015-3-22 11:53:38 | 顯示全部樓層
昨天才發(fā)過  求精度為微米級(jí)的測(cè)量方式或工具,?% }9 O+ U2 G1 {) [0 ~" a1 L
今天再發(fā)個(gè)  微米級(jí)精度的測(cè)量,有哪些方法. G1 ?; S: q+ |# R( z$ B" ~
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帖子內(nèi)容基本上有90%以上是雷同,。

點(diǎn)評(píng)

嗯 這個(gè)是我在哪個(gè)測(cè)量那一欄發(fā)的 沒想到又跑到這里來了  發(fā)表于 2015-3-22 12:23
發(fā)表于 2015-3-22 12:12:34 | 顯示全部樓層
測(cè)量的先決條件是確定要測(cè)的是什么量,,也就是要對(duì)特定的被測(cè)量作明確說明,或者說對(duì)要測(cè)量的量下一個(gè)定義,。實(shí)際上,,被測(cè)量應(yīng)相應(yīng)于所需準(zhǔn)確度而完整定義,以便對(duì)與測(cè)量有關(guān)的所有的實(shí)際用途來說,,其值是單一的,。舉例:一根長(zhǎng)度標(biāo)稱值為1m的鋼棒若需測(cè)準(zhǔn)至微米級(jí),其說明應(yīng)包括定義長(zhǎng)度時(shí)的溫度和壓力,。如: 應(yīng)說明被測(cè)量為鋼棒在25.00℃和101325Pa時(shí)的長(zhǎng)度,。如果僅說明鋼棒在101325Pa時(shí)的長(zhǎng)度,沒有說明溫度,,那么,,對(duì)于不同的溫度,會(huì)有不同的鋼棒長(zhǎng)度值,,被測(cè)量就不是單一值了,。然而,如果被測(cè)長(zhǎng)度僅需毫米級(jí)準(zhǔn)確度,,其說明可能就無需規(guī)定溫度或壓力或任何其他影響量的值,。3 I% @; ?. V; O; w- Q! g- I/ K
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點(diǎn)評(píng)

微米級(jí)的精度,溫度,,壓力,,測(cè)量力(如果是接觸式測(cè)量)、環(huán)境振動(dòng)都要求很高吧,;測(cè)量系統(tǒng)不確定度要求更高,;高科技啊。  發(fā)表于 2015-3-22 14:29
就像上面所提到的就是測(cè)量滾珠直線導(dǎo)軌 滑塊側(cè)面與導(dǎo)軌側(cè)面的定位面之間的距離,,在普通的室內(nèi)測(cè)量,,這個(gè)變化先放一邊,現(xiàn)在想問一下大家有沒有用過類似這樣測(cè)量長(zhǎng)度的簡(jiǎn)單儀器  發(fā)表于 2015-3-22 12:26
發(fā)表于 2015-3-22 15:05:47 | 顯示全部樓層
基恩士的位移傳感器,精度可以達(dá)到0.0001,,測(cè)量范圍比較小,,只有幾十

點(diǎn)評(píng)

嗯 是的 好像感測(cè)頭挺貴的 四萬多的  發(fā)表于 2015-3-22 17:49
發(fā)表于 2015-3-24 20:15:44 | 顯示全部樓層
要不做檢具,要不老老實(shí)實(shí)比對(duì)測(cè)量; t5 T# O' I4 T; t0 a

點(diǎn)評(píng)

我感興趣的是你在哪一家看的導(dǎo)軌,,國(guó)產(chǎn)導(dǎo)軌也有這樣控制質(zhì)量的真不容易,。方便的話可以私信我。qq664706718  發(fā)表于 2015-3-26 11:29
嗯 看來也只能這樣了 發(fā)現(xiàn)了 看來是沒有這樣的工具  發(fā)表于 2015-3-24 21:01
發(fā)表于 2015-4-21 19:11:39 | 顯示全部樓層
這個(gè)精度對(duì)測(cè)量工具,、測(cè)量員,、測(cè)量環(huán)境要求真的太高了,,國(guó)內(nèi)這樣的企業(yè)多嗎,?
發(fā)表于 2015-5-16 17:11:20 | 顯示全部樓層
這應(yīng)該叫納米測(cè)量技術(shù)了
發(fā)表于 2016-5-2 17:00:27 | 顯示全部樓層
# G& I2 r* ~$ J  x. i7 O$ d
微米級(jí)精度要求,實(shí)際分辨率要求則是納米級(jí)精度,,常見的普通測(cè)量顯微鏡等受數(shù)值孔徑限制都已無法滿足,,如要求微米級(jí)精度測(cè)量Z方向深度或粗糙度,基本上是要使用光學(xué)輪廓儀,
發(fā)表于 2016-5-3 08:22:26 | 顯示全部樓層
光學(xué)輪廓儀又叫白光干涉儀,,152-1950-4346孫
發(fā)表于 2016-5-16 16:49:04 | 顯示全部樓層
057762768008
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