微米級精度的測量，有哪些方法

忍愛天下

最近在測一些數(shù)據(jù),，要求精度至少在1um以內(nèi),，現(xiàn)在自己了解到的關(guān)于一些測量的工具如游標(biāo)卡尺,、深度尺、高度尺,、百分表,、塞尺也就在0.01mm的精度，內(nèi)徑,、外徑千分尺可以達(dá)到0.001mm但是在一些場合用他們來測量的話礙于結(jié)構(gòu)形式不能實現(xiàn),，而千分表的話則對于多次測量需要找一個基準(zhǔn)做參考，且主要用來測跳動的居多�,，F(xiàn)在機床上精度用的比較高的測量裝置就是光柵尺,，然而它不能像卡尺這樣用著隨心應(yīng)手，再者一些比較高端的測量工具如激光干涉儀等一些光學(xué)測量元件其價格昂貴,。
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各位在實際測量一些微米級或者精度更高的尺寸時,，用的是什么測量工具？

小弟不才,，才疏短淺望各位前輩能指點一二,。謝謝。如測量直線導(dǎo)軌,， 滑塊的測量與導(dǎo)軌側(cè)面的距離要求精度微米級以內(nèi),。

LIAOYAO

昨天才發(fā)過  求精度為微米級的測量方式或工具？
今天再發(fā)個  微米級精度的測量,，有哪些方法

* L" m1 D" Z9 _* x2 E) `帖子內(nèi)容基本上有90%以上是雷同,。

寂靜天花板

測量的先決條件是確定要測的是什么量，也就是要對特定的被測量作明確說明,，或者說對要測量的量下一個定義,。實際上，被測量應(yīng)相應(yīng)于所需準(zhǔn)確度而完整定義,，以便對與測量有關(guān)的所有的實際用途來說,，其值是單一的。舉例:一根長度標(biāo)稱值為1m的鋼棒若需測準(zhǔn)至微米級,，其說明應(yīng)包括定義長度時的溫度和壓力,。如: 應(yīng)說明被測量為鋼棒在25.00℃和101325Pa時的長度。如果僅說明鋼棒在101325Pa時的長度,，沒有說明溫度,，那么，對于不同的溫度，會有不同的鋼棒長度值,，被測量就不是單一值了,。然而，如果被測長度僅需毫米級準(zhǔn)確度,，其說明可能就無需規(guī)定溫度或壓力或任何其他影響量的值。
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jin386

基恩士的位移傳感器,，精度可以達(dá)到0.0001，測量范圍比較小,，只有幾十

揚天測量

要不做檢具,，要不老老實實比對測量

沙漠鷹狼

這個精度對測量工具、測量員,、測量環(huán)境要求真的太高了,，國內(nèi)這樣的企業(yè)多嗎？

chuangyan

這應(yīng)該叫納米測量技術(shù)了

立為智能

1 j  D* n& F/ X微米級精度要求,，實際分辨率要求則是納米級精度,，常見的普通測量顯微鏡等受數(shù)值孔徑限制都已無法滿足，如要求微米級精度測量Z方向深度或粗糙度,，基本上是要使用光學(xué)輪廓儀,

立為智能

光學(xué)輪廓儀又叫白光干涉儀,，152-1950-4346孫

hitele002

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