可在液氫溫度環(huán)境使用的壓力傳感器

寂靜天花板

當(dāng)前，壓力傳感器應(yīng)用非常廣泛,，但超低溫壓力傳感器一般只在軍事和科研上使用,。尤其是在軍事上,，對(duì)壓力傳感器的要求非常苛刻,。目前軍用低溫壓力傳感器普遍可以在-200℃環(huán)境下穩(wěn)定工作,，性能上需拓展。
據(jù)資料,，該低溫型脈動(dòng)壓力傳感器屬于電阻應(yīng)變式壓力傳感器,。傳感器采用離子束濺射薄膜技術(shù)，在金屬膜片上直接生成電介質(zhì)隔離膜和功能材料電阻膜（薄膜應(yīng)變電阻）,，在電阻膜上制作應(yīng)變電阻,，組成惠斯通電橋。當(dāng)被測(cè)介質(zhì)的壓力發(fā)生變化時(shí),，應(yīng)變電阻阻值也隨之變化,，從而使傳感器輸出電壓值發(fā)生變化。傳感器金屬膜片上還制備了一個(gè)測(cè)溫電阻,，通過(guò)測(cè)溫電阻,，當(dāng)傳感器的工作環(huán)境溫度發(fā)生變化時(shí),，測(cè)溫電阻阻值也隨之變化,，并提供給變換器，通過(guò)變換器獲取工作環(huán)境溫度,。低溫型脈動(dòng)壓力傳感器系統(tǒng)具有使用測(cè)量低溫區(qū)寬的特點(diǎn),，傳感器使用溫度范圍為-253℃~ 60℃(液氫溫度)；測(cè)量范圍：(0～60)）MPa,。

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