可在液氫溫度環(huán)境使用的壓力傳感器

寂靜天花板

當(dāng)前,，壓力傳感器應(yīng)用非常廣泛,，但超低溫壓力傳感器一般只在軍事和科研上使用,。尤其是在軍事上,，對壓力傳感器的要求非�,？量�,。目前軍用低溫壓力傳感器普遍可以在-200℃環(huán)境下穩(wěn)定工作,，性能上需拓展,。
據(jù)資料，該低溫型脈動壓力傳感器屬于電阻應(yīng)變式壓力傳感器,。傳感器采用離子束濺射薄膜技術(shù),，在金屬膜片上直接生成電介質(zhì)隔離膜和功能材料電阻膜（薄膜應(yīng)變電阻），在電阻膜上制作應(yīng)變電阻,，組成惠斯通電橋,。當(dāng)被測介質(zhì)的壓力發(fā)生變化時，應(yīng)變電阻阻值也隨之變化,，從而使傳感器輸出電壓值發(fā)生變化,。傳感器金屬膜片上還制備了一個測溫電阻，通過測溫電阻,，當(dāng)傳感器的工作環(huán)境溫度發(fā)生變化時,，測溫電阻阻值也隨之變化，并提供給變換器,，通過變換器獲取工作環(huán)境溫度,。低溫型脈動壓力傳感器系統(tǒng)具有使用測量低溫區(qū)寬的特點,，傳感器使用溫度范圍為-253℃~ 60℃(液氫溫度)；測量范圍：(0～60)）MPa,。