關(guān)于環(huán)境因素 影響激光干涉儀測量精度的環(huán)境因素主要指: 1、 當(dāng)前測量環(huán)境下的空氣溫度,、濕度,、大氣壓力,影響在空氣中傳播的激光波長,。 2,、 被測工件溫度,影響被測對(duì)象的熱膨脹量,。本文不做分析,,將在下篇細(xì)述。 關(guān)于激光干涉儀SJ6000激光干涉儀 激光干涉儀有單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀,,二者都是采用外差干涉原理,,而區(qū)別在于計(jì)算公式,如下所示: 單頻激光干涉儀,,線性測量的計(jì)算公式:L=Nλ/2,,其中L為位移,N為干涉條紋數(shù)目,,λ為激光波長,。 雙頻激光干涉儀,,線性測量的計(jì)算公式: 其中L為位移,t為時(shí)間,,△f為由于運(yùn)動(dòng)而引起的頻移,λ為激光波長,。 激光波長影響分析結(jié)合激光干涉儀兩個(gè)線性測量的公式同時(shí)進(jìn)行分析: 1、 單頻激光干涉儀,,若移動(dòng)半個(gè)激光波長,,光電探測器將采集到明暗變化1次,,干涉條紋數(shù)目則N+1,,該項(xiàng)幾乎不會(huì)引入誤差。而雙頻激光干涉儀,,△f在時(shí)間上積分的結(jié)果相當(dāng)于N,,同樣也幾乎不會(huì)引入誤差。 2,、 兩個(gè)公式都含有激光波長λ,而λ的精度直接取決于波長的穩(wěn)定度,,通常要高于線性測量精度指標(biāo)一個(gè)量級(jí),,即≤0.05ppm,。所以在標(biāo)準(zhǔn)空氣參數(shù)的環(huán)境條件下,理論上L的線性測量精度也應(yīng)該為0.05ppm,,然而通過Edlen公式可以獲知激光波長λ會(huì)受到環(huán)境因素的影響,,參見表1,,所以實(shí)際應(yīng)用中L的線性測量精度標(biāo)為0.5ppm不無道理,。 激光波長穩(wěn)定度和環(huán)境因素對(duì)波長的影響 綜上,,對(duì)環(huán)境因素進(jìn)行綜合考量,,最壞的情況下將會(huì)給線性測量精度引入0.48ppm的誤差。 所以,,暫且可以得出下面的結(jié)論: 1,、 激光干涉儀線性測量精度主要取決于激光波長穩(wěn)定度和環(huán)境因素,; 2、 單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀在線性測量精度上并無本質(zhì)區(qū)別,; 3,、 若不考慮被測對(duì)象因素的影響,,激光干涉儀在線性測量過程中,,誤差主要來源是由環(huán)境因素導(dǎo)致的,。 EC20環(huán)境補(bǔ)償單元激光干涉儀配備的EC20環(huán)境補(bǔ)償單元,,由環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)(內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器)、空氣溫度傳感器和3個(gè)材料溫度傳感器組成,,可實(shí)現(xiàn)對(duì)空氣溫度,、濕度、大氣壓力和材料溫度的實(shí)時(shí)高精度檢測,。 EC20環(huán)境補(bǔ)償單元 EC20環(huán)境補(bǔ)償單元在出廠前,,會(huì)依照相關(guān)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)對(duì)各環(huán)境參量進(jìn)行精確校準(zhǔn),,通常情況下建議24個(gè)月校準(zhǔn)一次,。 在使用EC20環(huán)境補(bǔ)償單元過程中,在不影響測量光路和被測物體運(yùn)動(dòng)的前提下,,建議將環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置。至于材料溫度探頭該如何布置或應(yīng)用,則需分不同的測量場合與不同的被測對(duì)象,,小編將會(huì)作為激光干涉儀的測量關(guān)鍵點(diǎn)進(jìn)行細(xì)述,,欲知詳情,且聽下回分解 。 + L3 p2 o0 x5 V6 G8 Q& n
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