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淺析環(huán)境因素對激光干涉儀測量精度的影響(上)

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發(fā)表于 2017-12-29 15:35:27 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
關(guān)于環(huán)境因素
影響激光干涉儀測量精度的環(huán)境因素主要指:
1,、 當前測量環(huán)境下的空氣溫度、濕度,、大氣壓力,,影響在空氣中傳播的激光波長,。
2、 被測工件溫度,,影響被測對象的熱膨脹量,。本文不做分析,,將在下篇細述,。
關(guān)于激光干涉儀

SJ6000激光干涉儀

激光干涉儀有單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀,二者都是采用外差干涉原理,,而區(qū)別在于計算公式,,如下所示:
單頻激光干涉儀,線性測量的計算公式:L=Nλ/2,,其中L為位移,,N為干涉條紋數(shù)目,λ為激光波長,。
雙頻激光干涉儀,,線性測量的計算公式:
其中L為位移,t為時間,,△f為由于運動而引起的頻移,,λ為激光波長。
激光波長影響分析
結(jié)合激光干涉儀兩個線性測量的公式同時進行分析:
1,、 單頻激光干涉儀,,若移動半個激光波長,光電探測器將采集到明暗變化1次,,干涉條紋數(shù)目則N+1,,該項幾乎不會引入誤差。而雙頻激光干涉儀,,△f在時間上積分的結(jié)果相當于N,,同樣也幾乎不會引入誤差。
2,、 兩個公式都含有激光波長λ,,而λ的精度直接取決于波長的穩(wěn)定度,通常要高于線性測量精度指標一個量級,,即≤0.05ppm,。所以在標準空氣參數(shù)的環(huán)境條件下,理論上L的線性測量精度也應該為0.05ppm,,然而通過Edlen公式可以獲知激光波長λ會受到環(huán)境因素的影響,,參見表1,所以實際應用中L的線性測量精度標為0.5ppm不無道理,。

激光波長穩(wěn)定度和環(huán)境因素對波長的影響

綜上,,對環(huán)境因素進行綜合考量,,最壞的情況下將會給線性測量精度引入0.48ppm的誤差。
所以,,暫且可以得出下面的結(jié)論:
1,、 激光干涉儀線性測量精度主要取決于激光波長穩(wěn)定度和環(huán)境因素;
2,、 單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀在線性測量精度上并無本質(zhì)區(qū)別,;
3、 若不考慮被測對象因素的影響,,激光干涉儀在線性測量過程中,,誤差主要來源是由環(huán)境因素導致的。
EC20環(huán)境補償單元
激光干涉儀配備的EC20環(huán)境補償單元,,由環(huán)境補償主機(內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器),、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成,可實現(xiàn)對空氣溫度,、濕度,、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。

EC20環(huán)境補償單元

EC20環(huán)境補償單元在出廠前,,會依照相關(guān)計量標準對各環(huán)境參量進行精確校準,,通常情況下建議24個月校準一次。
在使用EC20環(huán)境補償單元過程中,,在不影響測量光路和被測物體運動的前提下,,建議將環(huán)境補償主機和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置。至于材料溫度探頭該如何布置或應用,,則需分不同的測量場合與不同的被測對象,,小編將會作為激光干涉儀的測量關(guān)鍵點進行細述,欲知詳情,,且聽下回分解 ,。
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發(fā)表于 2017-12-29 21:20:44 | 只看該作者
我們用的雷尼紹的激光干涉儀,,沒見過車間檢測激光干涉儀精度的
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 樓主| 發(fā)表于 2018-1-2 16:25:24 | 只看該作者
韓寒11 發(fā)表于 2017-12-29 21:20
2 f- n" y$ ?: {* @% _我們用的雷尼紹的激光干涉儀,,沒見過車間檢測激光干涉儀精度的

4 r+ }7 @7 x  A這個是送到計量院(所)去檢的,一般地方計量院可能都無法檢,,需要送到大的計量院甚至中國計量院去檢定,,你們車間是沒有這個資質(zhì)和能力的,。
6 `# E$ j4 K! v4 O0 A' X
4#
發(fā)表于 2018-7-9 12:58:24 | 只看該作者
我又來賺威望啦!�,�,!
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