《超高真空技術》PDF

la999

超高真空技術
6 L7 Z/ E% O& v+ s. l作者：邱愛葉,，邵健中編著
6 `% Z$ @2 _3 X) [& D: g: \6 V出版項：浙江大學出版社 / 1991.8
原書定價：￥2.65
: Z3 P4 K) y/ ~+ o無裝幀項：20cm / 241頁
ISBN號：73080074** / TB751

$ F) t9 _2 v5 ]/ O[ 本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:27 編輯 ]

駱馬湖鐵匠

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1.對檢漏方法的一般要求
0 e: y4 C; [( k& F) V' j（1）檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔,；
% g2 Z# [) }! B（2）反應時間短,，可以提高工作效率；
（3）能定位,、定量,，即不僅能夠找出漏孔的位置,，還能確定漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求,；
（4）能無損檢漏,，不使被檢設備受到損壞和污染；
（5）穩(wěn)定性好,，即保證足夠長時間內靈敏度穩(wěn)定可靠,；
（6）所用“示漏氣體”在空氣中含量低、無毒,、不腐蝕零件,；
（7）檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測,，以減少檢漏設備的數量和費用,；
% ?! {+ b6 a. h5 A' @& L; S+ |( a（8）檢漏時應潔凈無油，滿足一些特殊要求,。
! F& \4 A: b3 ?- ]5 u2.選擇檢漏方法的原則
（1）主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據,，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個單個漏孔,，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1～2個數量級,。如一個設備的允許漏率為10-11W，而必須選用的檢漏靈敏度為10-12～10-13W,；
（2）根據具體被檢對象,，所用方法簡便易行、經濟實用,。
8 l7 l: D  w0 i* X! P$ C. E$ C/ j/ k3.檢漏方法的分類
8 z9 A! h. a9 O, q按被檢容器所處的狀態(tài)可分為兩大類,，即加壓檢漏法和真空檢漏法。
) v( t3 v$ Q: ^- p0 n- z（1）加壓檢漏法,。在被檢容器內充入一定壓力的氣體（稱試驗氣體或者探漏氣體）或液體,，當容器上存在漏孔時，氣體（或液體）便從漏孔中逸出,，從哪里逸出,，逸出量的多少等，就可判斷有無漏孔存在,、漏孔位置和大小,。屬于此類檢漏方法有：
6 m: ~, ^% N7 ~* \& O( L. e水壓法：將清潔的水壓入被檢容器中，一般水壓在2～3個大氣壓左右,，觀察容器外壁有無水珠出現,，根據水珠出現的位置大小和快慢，來確定漏孔位置和估計漏氣量的大小,。
- B5 i. B9 [9 A: {6 F! Q氣壓法：將試驗氣體（空氣或其他氣體）壓入被檢容器,，在外面檢查有無氣體逸出,，具體方法有：火焰、氣泡指示法（水槽法,、皂膜法）,；氨檢漏法；鹵素檢漏儀和氨質譜儀吸嘴法和放射性同位素法,。其中鹵素檢漏法是,，金屬鉑在高溫（常用850～950℃）下產生正離子發(fā)射（主要是堿金屬離子），這種發(fā)射遇到鹵素氣體時急劇增加,，依據這個現象可以制成一種檢漏儀器,，即鹵素檢漏儀。
0 M2 b8 ^. R. h/ R2 w& }: X# `鉑的離子發(fā)射現象被設置在一個探頭中,，探頭是一支二極電子管結構,，加熱絲、陽極及不銹鋼陰極組成一間熱式二極管,，后部安裝吸氣風扇,，使用時不斷吸進氣體，工作時二極管的陽極由燈絲加熱到850～950℃,，陰極對陽極加有250V負電壓并收集正離子,，離子電流由電子電路放大后，用儀表指示,，考慮到檢漏時無暇觀察儀表指示
示漏氣體多用氯的鹵化物,，如氟利昂、氯仿,、四氯化碳等,，其中以氟利昂無毒、不可燃,、蒸汽壓力高、靈敏度高被廣泛應用,。檢漏時,，鹵素氣體充于被檢件內，用外探頭在外部
尋找漏孔,。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔,，工業(yè)產品一般為10-6～10-7Pa·m3/s。
& H+ e, D" ^- ]1 o+ M8 X（2）真空檢漏法,。將被檢容器內部抽空后,，再把試驗物質施于容器外表可疑位置。如有漏孔,，試驗物質便通過漏孔
進入容器,，通過一些方法或儀器指示出來,，從而可判斷出漏孔的位置和大小。屬于此類的方法有：靜態(tài)升壓法,；放電管法,；真空計法；氫-鈀法,；離子泵法,；高頻火花檢漏法；鹵素檢漏法,；質譜檢漏法,。其中離子泵檢漏法是，濺射離子泵的離子流大小可反映真空系統(tǒng)真空度的高低,，因此,，類似于電離真空計的方法，用離子泵的電流指示可對系統(tǒng)或被抽容器進行檢漏,。這也是一種既簡單又靈敏的檢漏方法,。