《超高真空技術(shù)》PDF

la999

超高真空技術(shù)
作者：邱愛(ài)葉，邵健中編著
出版項(xiàng)：浙江大學(xué)出版社 / 1991.8
原書定價(jià)：￥2.65
無(wú)裝幀項(xiàng)：20cm / 241頁(yè)
ISBN號(hào)：73080074** / TB751
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[ 本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:27 編輯 ]

駱馬湖鐵匠

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1.對(duì)檢漏方法的一般要求
（1）檢漏靈敏度高,，可以檢出很小的漏孔；
; U! h3 O0 r' E+ [3 v5 _) ?# N) X# l（2）反應(yīng)時(shí)間短,，可以提高工作效率,；
（3）能定位、定量,，即不僅能夠找出漏孔的位置,，還能確定漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求,；
（4）能無(wú)損檢漏,，不使被檢設(shè)備受到損壞和污染；
（5）穩(wěn)定性好,，即保證足夠長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠,；
% W: a" e' i# n' E（6）所用“示漏氣體”在空氣中含量低、無(wú)毒,、不腐蝕零件,；
（7）檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測(cè),，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用,；
（8）檢漏時(shí)應(yīng)潔凈無(wú)油，滿足一些特殊要求,。
4 q( A4 [7 u' X1 W/ Z2.選擇檢漏方法的原則
（1）主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù),，由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個(gè)單個(gè)漏孔,，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1～2個(gè)數(shù)量級(jí),。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11W，而必須選用的檢漏靈敏度為10-12～10-13W,；
4 j# L7 Z* R8 C) _7 n（2）根據(jù)具體被檢對(duì)象,，所用方法簡(jiǎn)便易行、經(jīng)濟(jì)實(shí)用,。
3.檢漏方法的分類
按被檢容器所處的狀態(tài)可分為兩大類,，即加壓檢漏法和真空檢漏法。
2 {3 G0 n# X9 z9 p, x  \（1）加壓檢漏法,。在被檢容器內(nèi)充入一定壓力的氣體（稱試驗(yàn)氣體或者探漏氣體）或液體,，當(dāng)容器上存在漏孔時(shí)，氣體（或液體）便從漏孔中逸出,，從哪里逸出,，逸出量的多少等,，就可判斷有無(wú)漏孔存在、漏孔位置和大小,。屬于此類檢漏方法有：
: N4 N6 l: @3 O5 U" R" B2 T& D水壓法：將清潔的水壓入被檢容器中,，一般水壓在2～3個(gè)大氣壓左右，觀察容器外壁有無(wú)水珠出現(xiàn),，根據(jù)水珠出現(xiàn)的位置大小和快慢,，來(lái)確定漏孔位置和估計(jì)漏氣量的大小。
氣壓法：將試驗(yàn)氣體（空氣或其他氣體）壓入被檢容器,，在外面檢查有無(wú)氣體逸出,，具體方法有：火焰、氣泡指示法（水槽法,、皂膜法）,；氨檢漏法；鹵素檢漏儀和氨質(zhì)譜儀吸嘴法和放射性同位素法,。其中鹵素檢漏法是,，金屬鉑在高溫（常用850～950℃）下產(chǎn)生正離子發(fā)射（主要是堿金屬離子），這種發(fā)射遇到鹵素氣體時(shí)急劇增加,，依據(jù)這個(gè)現(xiàn)象可以制成一種檢漏儀器，即鹵素檢漏儀,。
' I- |" c1 b& @/ `: d9 P$ N+ i2 A鉑的離子發(fā)射現(xiàn)象被設(shè)置在一個(gè)探頭中,，探頭是一支二極電子管結(jié)構(gòu)，加熱絲,、陽(yáng)極及不銹鋼陰極組成一間熱式二極管,，后部安裝吸氣風(fēng)扇，使用時(shí)不斷吸進(jìn)氣體,，工作時(shí)二極管的陽(yáng)極由燈絲加熱到850～950℃,，陰極對(duì)陽(yáng)極加有250V負(fù)電壓并收集正離子，離子電流由電子電路放大后,，用儀表指示,，考慮到檢漏時(shí)無(wú)暇觀察儀表指示
示漏氣體多用氯的鹵化物，如氟利昂,、氯仿,、四氯化碳等，其中以氟利昂無(wú)毒,、不可燃,、蒸汽壓力高、靈敏度高被廣泛應(yīng)用,。檢漏時(shí),，鹵素氣體充于被檢件內(nèi),，用外探頭在外部
) R) S% }& `5 w/ Z' ^尋找漏孔。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔,，工業(yè)產(chǎn)品一般為10-6～10-7Pa·m3/s,。
（2）真空檢漏法。將被檢容器內(nèi)部抽空后,，再把試驗(yàn)物質(zhì)施于容器外表可疑位置,。如有漏孔，試驗(yàn)物質(zhì)便通過(guò)漏孔
( |' r/ W, g5 n進(jìn)入容器,，通過(guò)一些方法或儀器指示出來(lái),，從而可判斷出漏孔的位置和大小。屬于此類的方法有：靜態(tài)升壓法,；放電管法,；真空計(jì)法；氫-鈀法,；離子泵法,；高頻火花檢漏法；鹵素檢漏法,；質(zhì)譜檢漏法,。其中離子泵檢漏法是，濺射離子泵的離子流大小可反映真空系統(tǒng)真空度的高低,，因此,，類似于電離真空計(jì)的方法，用離子泵的電流指示可對(duì)系統(tǒng)或被抽容器進(jìn)行檢漏,。這也是一種既簡(jiǎn)單又靈敏的檢漏方法,。