CVD鑽石薄膜材料,，中國人搞的

jamesliu8029

/ U7 d; d1 N8 ^+ H( C1 n' e. B9 D* e% E0 R- c* }4 P }$ h& @% o) j5 B Z- P, t0 u4 Z- b( G6 B: _6 v4 M7 h$ e: C) ?) U7 `9 T/ Q: V# F) J M$ Z8 C- N- H0 l. i4 N' \# Q. l; _3 e/ s; u0 @$ y6 d$ H8 f" x9 {& ^; r4 A9 M9 d0 E+ u2 n( ~: `+ [2 s( U4 V% H6 w0 m+ x' X! [7 M- t3 X% A3 {* q2 ^

X - 光分析 ( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv,，30mA,，step 0.02 deg.,，speed 4 deg. / min.fficeffice" /> # L6 f8 T+ h2 L( a" U n  or 1 deg. / min.)
◎晶體結(jié)構(gòu)	Cubic
◎空間群	Fd–ffice:smarttags" />3m
! a( e4 D- b% s9 F& J; R" g   ◎晶格參數(shù)(R.T)	(A) 3.570
; c3 F2 \# Q* D' v: P   ◎密度(g/cm3)	3.508
& n$ \: F2 B3 q( u4 G9 R9 o   ◎晶面(111)	8 J k P4 o8 {( Z) x, E/ o% i   202
( t; n& b) Y* R; M1 z7 y' | 粗糙度分析 ( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research  ( 50 μm * 50 μm )
- T* b+ N" |+ ?3 y ?" @* l3 U ◎中心線平均粗糙面Ra ( Ave. Rough )		/ i* p+ g3 w ?8 ~8 P 總面積 / 底長86.39 nm霧面，1.052 nm亮面,。
◎中心線均方根粗糙面Rq ( Rms Rough )		- f% a" ^* ?. w) i 104.8 nm霧面,，1.321 nm亮面。
◎Rp 250.4 nm霧面,，2.592 nm亮面,，Rv 189.1 nm霧面，6.156 nm亮面,。
- R, o5 H. {3 d, _: T ◎高低差異值為 8 nm 亮面,。

 

+ T# f* p0 h5 x& y% P' b4 Z ?- v

 

 

 

! ` D6 D/ ^, J

 

9 y! f- Z& X- a' r. }

 

& U' M: l4 E( ?, f! l7 F

 

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+ z- F8 `! Y( O, X1 T

 

 

 

4 x1 P. W7 G: s1 |5 x& M

 

 

圖片:

顆粒顯微分析一

 http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

顆粒顯微分析二

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

( ]& S5 _6 Z0 Q p3 l: d. w

顆粒顯微分析三

8 M& S! o8 N e- S2 e

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

顆粒顯微分析四

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

/ c7 [" s% l5 H* K; \" W) ~

顆粒顯微分析五

5 C' b4 x: Y) q6 r: J# x& U4 k

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

顆粒顯微分析六

* w3 U# d/ `1 R$ O$ W

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

顆粒顯微分析七

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http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

 

/ J4 a; K& ~& L

      

jamesliu8029

補(bǔ)充:
這是完全由中國人研發(fā)並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料
日本人做到2吋!!中國人做到4吋
圖一是鑽石膜晶片拋光品質(zhì)
# m4 j4 ]$ @# ^$ d. y' ?3 z( Z& j圖二是拋光與未拋光之比較
圖三至圖七是電子顯微鏡照片

深南大道

呵呵，希望中國的各行各業(yè)都能像這樣超過日本人~~~~

jamesliu8029

為啥沒人頂??不懂材料特性??
7 e2 V* H- H) U+ i( K& n( t我再補(bǔ)充一下!!!
1 k( `  Q. w* p鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,，熱傳導(dǎo)率1300~2100W/mK(銅397),，比熱1.81J/cm3K(銅3.4)，熱擴(kuò)散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)
其散熱及不沾粘性是世界公認(rèn)
在電子應(yīng)用LED上可替代藍(lán)寶石基材,可作IC等散熱片
( x$ i% o8 G+ Q: H7 a1 x! ~在機(jī)械行業(yè)可用精密模具(如鏡片),、耐磨材料
, g! z4 \# f$ @$ F" p+ |/ {我的QQ是473137404
+ `" A- v9 R9 c1 z/ y3 k歡迎大家一起討論

lwm789

不懂不懂,，請(qǐng)教：這種鉆石薄膜是柔性的嗎？可以做密封件嗎,？可以成型嗎,？是否有買？價(jià)格是否很貴,？謝謝,。

jamesliu8029

原帖由 滴水天 發(fā)表 不懂不懂，請(qǐng)教：這種鉆石薄膜是柔性的嗎,？可以做密封件嗎,？可以成型嗎？是否有買,？價(jià)格是否很貴,？謝謝。

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達(dá)到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導(dǎo)靠零件,耐酸鹼,，可替代所有超硬材料,，現(xiàn)規(guī)格是四吋

# z6 t1 [1 \& w) h* L1 O6 E

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系  

$ {/ R6 T- K( t8 G% [% j1 K- c: |

QQ: 473137404

海山

想了解下：使用什么設(shè)備（哪國的）來制造的？

jamesliu8029

中國人自行開發(fā)的CVD設(shè)備

cmx

只知VCD,，CVD,？液晶面板。,。,。？

jamesliu8029

fficeffice" />化學(xué)氣相沉積技術(shù)(Chemical Vapor Deposition縮寫 CVD)

8 D% I) \4 m: C& K

ffice:word" />化學(xué)氣相沉積是製造微電子元件時(shí),，被用來沉積出特定薄膜(film)的技術(shù),，所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導(dǎo)體、或半導(dǎo)體,。

 

 

 

- n1 F* R9 m6 C5 n# r( i$ H

物理氣相沉積技術(shù)(Physical Vapor Deposition縮寫 PVD)

# n% `9 ?( T9 t2 |9 R% N6 e8 |

物理氣相沉積應(yīng)用方式與化學(xué)氣相沉積相似,，主要有三種製程：蒸鍍（Evaporation Deposition）、離子鍍（Ion Plating）,、濺鍍（Sputtering Deposition）及衍生性濺鍍,。