|
|
干式真空泵在各種工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境中起著至關(guān)重要的作用,。在諸如半導(dǎo)體,、太陽能電池板,、平板顯示器等生產(chǎn)過程中,，以及金屬加工中的真空脫氣應(yīng)用都需要一個(gè)潔凈的環(huán)境,，以免污染物可能對(duì)生產(chǎn)造成不利影響,。工作室里通常充滿氣體,，因此,，就需要采用干式真空泵進(jìn)行排氣以形成一個(gè)真空工作環(huán)境。
& m+ v4 p$ Z& Q3 H8 ]3 L% i0 Q6 m; n 在半導(dǎo)體制造中,，蝕刻工具必須在真空室里工作,，以便在硅晶片上蝕刻出電子電路的微型網(wǎng)格。由于該生產(chǎn)工藝相當(dāng)復(fù)雜，所以在開始工作之前,，必須先清除生產(chǎn)室里的所有污染物,。因此，在許多半導(dǎo)體制造廠中,，經(jīng)常會(huì)看到生產(chǎn)房的地板下安裝著一排排的干式真空泵,。
1 v9 x: q- q8 n( s 對(duì)于干式真空泵的終端用戶來說，必須盡可能地保證泵具有最高的可靠性,。在任何情況下,，泵都不能因?yàn)椴豢煽枯S承的原因而出現(xiàn)故障，因?yàn)檫@會(huì)造成生產(chǎn)工藝停工,，代價(jià)極大,。隨著軸承技術(shù)革新步伐的加快，軸承在降低干式真空泵（以及其他流程泵）的全壽命成本方面發(fā)揮出更重要的作用,。通常情況下,，干式真空泵需要四到八個(gè)軸承。這些軸承的平均使用壽命相差很大,，從一年到五年不等,。但是如果軸承設(shè)計(jì)合理，組裝和維護(hù)到位,，那么它們的使用壽命就會(huì)更長(zhǎng),。
+ m+ Q- ^3 r6 C$ S
+ N9 n! W% {! j2 { O例如，最近有一個(gè)項(xiàng)目,，一家羅茨爪型真空泵制造商要求某公司設(shè)計(jì)出一套能滿足多項(xiàng)要求的軸承方案,。其中一項(xiàng)要求是確保泵能以更高的轉(zhuǎn)速（是100赫茲而不是60赫茲）運(yùn)轉(zhuǎn)。此外,，還要求軸承能夠在潤(rùn)滑不佳,、重度污染以及高溫的情況下可靠地工作。原來的真空泵軸承采用標(biāo)準(zhǔn)鋼球鋼籠型設(shè)計(jì),，其平均故障間隔時(shí)間不超過三個(gè)月,。對(duì)于終端用戶來說，這導(dǎo)致了代價(jià)極大的生產(chǎn)停工,。9 r3 ~8 s- s3 [' ]
為了保證軸承能夠更可靠地工作在更高轉(zhuǎn)速的工況下,，某公司專門針對(duì)客戶的泵設(shè)計(jì)了一套高精密軸承解決方案。該方案能提高運(yùn)轉(zhuǎn)精度,，降低噪音和減少發(fā)熱,。例如，可用陶瓷材質(zhì)來代替鋼球,，從而避免焊接,，降低軸承的運(yùn)轉(zhuǎn)溫度。這些陶瓷球能夠更好地抵御污染物對(duì)球體造成的破壞,。此外,，還去除了原來的保持架，以便得到一種更安全的“故障保護(hù)”設(shè)計(jì)方案,。
* F; T0 G8 v% V0 S3 k: ?/ V5 K% a# J7 a
針對(duì)高溫工況,， 某公司還對(duì)鋼材進(jìn)行了特殊的熱處理，以免鋼材長(zhǎng)期增長(zhǎng)和軟化,。通過使用陶瓷球和去除保持架,，得以保持奧式體含量的平衡，從而在溫度性能和污染情況二者之間達(dá)到了最佳折衷,。新軸承方案的效果令人驚嘆：平均故障間隔時(shí)間提高了20倍,，從三個(gè)月延長(zhǎng)到五年。此外,，改進(jìn)后軸承方案的實(shí)際工作溫度比原來的設(shè)計(jì)低了30°C,。“更持久的”軸承還有助于降低功耗,。" c: l. F0 \7 ~3 d5 v
決定是否采用一項(xiàng)具體的軸承方案,，應(yīng)該在分析整體成本/效益問題后再作定奪，而不是僅僅根據(jù)購(gòu)買價(jià)格來判斷,。今天的高科技軸承提供了具有許多更佳的特性,，能降低全壽命成本，有益于泵制造商和終端用戶——盡管軸承本身的價(jià)格整體較高,。9 g1 a/ [7 r* v- Y0 |+ N! _
" G; Y6 x4 X$ P U+ k" e. F為一項(xiàng)特定應(yīng)用設(shè)計(jì)和挑選軸承,，其壽命周期成本（ＬＣＣ）等于下列各項(xiàng)的總和：初始投資成本/購(gòu)買價(jià)格+安裝/調(diào)試費(fèi)+能源成本+運(yùn)營(yíng)成本+維護(hù)成本（常規(guī)和計(jì)劃）+停機(jī)成本+環(huán)境成本+退役/處置成本。: {# @0 ^ `& v/ s. a# V" [
對(duì)于干式真空泵來說,，一套先進(jìn)的軸承方案的初始購(gòu)買價(jià)格可能會(huì)比一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)軸承貴三到五倍,，但是它通過節(jié)能、降低維修成本和縮短停機(jī)時(shí)間等方式所為用戶節(jié)省的潛在成本遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了其初始購(gòu)買價(jià)格,。' [: l7 k0 I9 j$ f/ x7 P
降低全壽命成本的工作始于泵的設(shè)計(jì)階段,，它充分挖掘了簡(jiǎn)化機(jī)械設(shè)計(jì)的可能性。進(jìn)而又簡(jiǎn)化了泵的組裝及之后的維護(hù)工作,，直接和間接地節(jié)約了成本,。整個(gè)設(shè)計(jì)過程中要求軸承設(shè)計(jì)者和泵制造商緊密合作。
8 c1 B! s, x- p8 u 雖然對(duì)干式真空泵軸承的轉(zhuǎn)速要求比普通軸承低,，但是由于溫度,、污染和可靠性等其他因素的影響，所以必須采用特殊的軸承設(shè)計(jì),，以滿足應(yīng)用要求,。
9 t! Z$ O8 X2 @% j" F 干式真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)速度介于５０赫茲到１５０赫茲之間,。盡管轉(zhuǎn)速較低，但是軸承必須可靠工作,，并在高溫下保持尺寸穩(wěn)定,，能夠在潤(rùn)滑不佳的條件下繼續(xù)有效地工作。0 J# A1 R+ _! d) |# d
2 K% k8 P' b; c 如有必要,，可以為客戶定制方案,，對(duì)軸承進(jìn)行特殊的熱處理或涂覆涂層，這有助于軸承保持溫度穩(wěn)定性,，提高抗污能力,。也可以設(shè)計(jì)其他的軸承解決方案來進(jìn)一步提高可靠性，例如通過用陶瓷球代替標(biāo)準(zhǔn)鋼球來改善潤(rùn)滑度,。其他定制軸承能通過降低泵的整體組裝成本和減少泵的零件數(shù)量來提高自身使用價(jià)值,。
( M7 Z5 o3 T) D- b: {: { 在選擇適合于干式真空泵（或其他流程泵）的特定軸承方案時(shí)，除了根本的技術(shù)優(yōu)勢(shì)外,，還需要考慮全壽命成本,，而不僅僅是根據(jù)軸承的采購(gòu)價(jià)格來做決定。
/ E" a. U* X0 S8 M% {) P3 O 盡管先進(jìn)的軸承價(jià)格偏高,，但是只要正確利用先進(jìn)的軸承技術(shù),，就能實(shí)現(xiàn)降低成本，為泵終端用戶和泵制造商帶來好處,。這些全壽命成本原理同樣適用于其它類型的泵,，包括普通真空泵和其他流程泵。0 ^5 I& V% @" Z1 Y
" g& z* o* @- u+ N* z
- U. j. I+ H. p
5 \2 o) A" ^4 A, h, B* R3 o* Q
|
|
發(fā)表于 2015-7-15 20:20:00
QQ好友和群
收藏
淘帖
問題專業(yè)，描述清楚
伸手黨/灌水/看不懂
