傳感器技術向微型化,、智能化,、多功能化方向發(fā)展

寂靜天花板

MEMS是指可批量制作的,，集微型機構,、微型傳感器,、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路,、直至接口、通信和電源于一體的微型器件或系統(tǒng),。MEMS技術是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發(fā)展而發(fā)展起來的,。借助MEMS技術的發(fā)展，傳感器技術將朝著微型化,、智能化,、多功能化的方向發(fā)展，這也正適合自動化和工業(yè)控制對傳感器性能的需求,。
        目前,，傳感器行業(yè)正處于傳統(tǒng)型向新型傳感器轉變的發(fā)展時期。新型傳感器主要表現(xiàn)在微型化,、數(shù)字化,、智能化、多功能化,、系統(tǒng)化和網(wǎng)絡化等多方面,，它不僅有利于傳感器行業(yè)進行產(chǎn)業(yè)升級,，還能對建立21世紀新型工業(yè)很有幫助。微型化是建立在MEMS技術基礎上的,，目前已成功生產(chǎn)出硅壓力傳感器,。
        除MEMS技術之外，材料技術（如納米技術）也推動著傳感器技術的發(fā)展,，新一代光纖傳感器,、超導傳感器、生物傳感器,、納米傳感器以及微型陀螺儀等等相繼出現(xiàn),。
  K1 h$ X8 z. N  P( t        多傳感器數(shù)據(jù)融合技術目前越來越受到大家的重視，它是基于在多個傳感器測量結果基礎上,，實現(xiàn)更高層次的綜合決策,。有鑒于傳感器微型化、智能化和多功能化的水平的提高,，所獲得的信息將大大增加,，多種功能進一步集成以致于融合，是必然的發(fā)展趨勢,，這也將從側面促進傳感器技術的發(fā)展,。
        國內傳感器廠家和研究機構，要緊跟傳感器技術發(fā)展的潮流,，適時推出具有市場競爭力的產(chǎn)品,，積極拓寬國內國外兩個市場，提高我國工業(yè)領域在國際上的形象,。